高トルク超音波モーター：PSM60 Wシリーズ
2.0[N/m]の高トルクを維持、同クラス世界最軽量・最薄のモータ
電力・制御信号なし、ブレーキ・クラッチなしで2.0[N･m] の高トルクを維持することができ、ロボットや搬送装置の姿勢や角度の保持が可能。 静止時のバックラッシュがなく、同クラス世界最軽量、最薄のモータ。 PSM60 シリーズと同一インターフェイスで、改造なしに高トルク化を実現します。
- 企業：株式会社Piezo Sonic 本社
- 価格：応相談
超音波モータ(高トルク) - 企業4社の製品一覧
製品一覧
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小型・軽量・低速高トルクのリニア型超音波モーター【ビブレックス】
応答性・静粛性に優れ、強磁場環境でも使用できます。無通電時に保持トルクを有し、電源を切ればその場でピタリと停止します。
『ビブレックス』は応答性・静粛性に優れた強磁場環境でも使用できる超音波モーターです。 圧電素子により振動体(ステータ)に超音波振動を発生させ、摩擦力を介して移動体(ロータまたはスライダー)を駆動させます。 無通電の状態で保持トルクを有し、減速機が要らず、電源を切ればその場でピタリと停止します。 【特長】 ■電源オフでも保持力があり、減速機が不要 ■ボールねじを必要としないため、応答性が良くバックラッシュがない ■減速機やボールねじが不要のため、ステージの小型化が可能 ■静粛性に優れる ■磁気の影響を受けず、電磁波を発生しない ■微細動作が可能 ※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。
- 企業：ニッコー株式会社 機能性セラミック商品事業部
- 価格：応相談
リニア型超音波モーター『ビブレックス』
秒速200mmで動作＆最小20nmの位置決め精度。無通電時にも保持力を有し、減速機不要
『ビブレックス』は応答性・静粛性に優れた 強磁場環境でも使用できる超音波モーターです。 圧電素子により振動体(ステータ)に超音波振動を発生させ、 摩擦力を介して移動体(ロータまたはスライダー)を駆動。 秒速200mmの動作速度と、最小20nmの位置決め精度を実現しています。 無通電の状態で保持トルクを有し、減速機が要らず、 電源を切ればその場でピタリと停止します。 【特長】 ■低速高トルクを実現 ■13gからの小型・軽量仕様 ■磁気の影響を受けず、電磁波の発生もなし ■顕微鏡・MRI強磁場環境用ステージ、小型ロボットなどに活躍 ※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。
- 企業：ニッコー株式会社 機能性セラミック商品事業部
- 価格：応相談
リニア型超音波モーター【小型ロボット・精密ステージに！】
秒速200mmで動作＆最小20nmの精密な位置決めが可能(※)なので、小型ロボット・顕微鏡などのステージにオススメです！
『ビブレックス』は応答性・静粛性に優れた強磁場環境でも使用できる超音波モーターです。 圧電素子により振動体(ステータ)に超音波振動を発生させ、摩擦力を介して移動体(ロータまたはスライダー)を駆動。 秒速200mmの動作速度と、最小20nmの位置決め精度(※)を実現しています。 ※ドライバー基板（サブミクロン対応）開発中 無通電の状態で保持トルクを有し、減速機が要らず、電源を切ればその場でピタリと停止します。 【特長】 ■低速高トルクを実現 ■13gからの小型・軽量仕様 ■磁気の影響を受けず、電磁波の発生もなし ■顕微鏡・MRI強磁場環境用ステージ、小型ロボットなどに活躍 ※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。
- 企業：ニッコー株式会社 機能性セラミック商品事業部
- 価格：応相談
超音波モータ 非磁性型 ベーシックモデルUSR30-SNシリーズ
堅牢性が高く、コネクタによるケーブル着脱が可能！
非磁性型超音波モータはMRIなどの高い磁場で利用することを想定し、金属部品は特殊なアルミと銅合金のみです。 高磁場環境である磁束密度が3[T]を超える環境でも安心してご利用いただけます。 USR30-SNシリーズはケースに収められているため堅牢性が高く、 コネクタによるケーブル着脱が可能となっている非磁性型モデルです。 最大トルクは0.1[Nm]、最大回転数は250[rpm]です。 出力軸のみとなっている片軸タイプのUSR30-S3N、センサの取り付け が可能な両軸タイプのUSR30-S4Nをご提供しています。 詳しくは、カタログをダウンロードしてご覧下さい。
- 企業：株式会社新生工業
- 価格：応相談
超音波モータ 非磁性型 ベーシックモデルUSR60-SNシリーズ
堅牢性が高く、コネクタによるケーブル着脱が可能！
非磁性型超音波モータはMRIなどの高い磁場で利用することを想定し、金属部品は特殊なアルミと銅合金のみです。 高磁場環境である磁束密度が3[T]を超える環境でも安心してご利用いただけます。 USR60-SNシリーズはケースに収められているため堅牢性が高く、 コネクタによるケーブル着脱が可能となっている非磁性型モデルです。 最大トルクは1.0[Nm]、最大回転数は150[rpm]です。 出力軸のみとなっている片軸タイプのUSR60-S3N、センサの取り付け が可能な両軸タイプのUSR60-S4Nをご提供しています。 詳しくは、カタログをダウンロードしてご覧下さい。
- 企業：株式会社新生工業
- 価格：応相談
超音波モータ
安定した回転性能・大きな保持力・高い静粛性を実現！
超音波モータは圧電セラミックに電圧を加えたときの変形を利用して回転します。その電圧の周波数が人の可聴音域（20kHz以下）を超えていることから 超音波 モータと命名されました。 その後、新生工業製超音波モータ：USRシリーズは改良を積み重ね、機能性、信頼性の向上を目指してきました。 その技術の結晶が、直径30mmのUSR30シリーズ、直径60mmのUSR 60シリーズです。 これまでの努力の結果、USRシリーズは世界中の多くの企業や学術機関で採用され、超音波モータのデファクトスタンダードとして高い評価を得ています。 現在はUSR30シリーズ、USR60シリーズ共に一般環境における利用を想定した標準型モータ、高磁場環境における利用を想定した非磁性型モータを製造、販売しています。 詳しくは、カタログをダウンロードしてご覧下さい。
- 企業：株式会社新生工業
- 価格：応相談
超音波モータ製品カタログ
高品質な小型・高トルクモータや高磁場環境用モータを多数掲載！
『超音波モータ製品カタログ』は、超音波モータ、販売、および開発を 行っている株式会社新生工業のカタログです。 ビルトインタイプの小型超音波モータ「USR30-Bシリーズ」をはじめ、 「USR60-Sシリーズ」や「USR30-SNシリーズ」などをラインアップしています。 【掲載内容】 ■超音波モータについて ■製品紹介 ■基本接続図 ■接続端子構成 ■外形寸法 ■仕様 他 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい
- 企業：株式会社新生工業
- 価格：応相談
超音波モータ『一般環境用モータ』
小型搬送装置用や間欠動作用として好適！豊富なラインアップ
当社で取り扱う、超音波モータ『一般環境用モータ』をご紹介します。 タイマーによる間欠動作用モータとして好適な「一般環境用センサレス 片軸モータ」や他社製エンコーダやタコジェネレータを利用し 制御が 可能な「一般環境用センサレス両軸モータ」などをご用意。 小型・高トルク・電力ゼロで姿勢保持・磁場環境で利用可能です。 ご要望の際はお気軽にお問い合わせください。 【シリーズラインアップ】 ■一般環境用モータ(PSM60S SERIES) ■一般環境用モータ(PSM40S SERIES) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：株式会社Piezo Sonic 本社
- 価格：応相談
NM_【国内半導体製造メーカー様ご採用】真空対応超音波モータ
【国内半導体製造メーカー様ご採用】真空中での高速移動と精密位置決めを合わせもつ、半導体製造で使用されている超音波モータ
Nanomotion社の超音波モータは、さまざまなサイズがあり、大気中から超高真空までの環境に適しています。 半導体業界の各種マイクロステージから300mmウェーハ検査ステージまで、幅広いアプリケーション向けのモーションプラットフォームを構築してきました。 Nanomotion社の超音波モータの特徴は、バックラッシのないダイレクトドライブで、無通電でもステージを保持できます。 モータ単体では最大32Nの駆動力ですが、より多くのトルクが必要な場面では複数の超音波モータを取り付けることで駆動力を増すことが可能です。 また高真空中で使用でき、イオンビームの用途向けに非磁性モデルも用意しております。 ■SEモータ（最新型） 1μm～500mm/sec速度範囲、サブnmのステップ分解能、最大32Nの駆動力 7nmプロセスのための開発コンソーシアムにNanomotion社も関わって開発した超音波モータ。国内メーカーでも注目。 ■HRモータ（標準型） 1μm～250mm/sec速度範囲、1nmのステップ分解能、最大32Nの駆動力 国内メーカーで多数使用されている超音波モータ
- 企業：株式会社工苑
- 価格：応相談
中空超音波モーター：PSM60 Rシリーズ
φ12の貫通穴があり、取付けインターフェースがフランジになっている中空モータ
中央の直径12mmの貫通穴には、ケーブルやシャフトを通すことができ、 最高トルクは他のPSM60シリーズと同等の1.2N･mを実現！ 外部インターフェースには組込み時の汎用性に優れたフランジ形を採用。 ロボットの関節部分や装置の薄型化に貢献する新型超音波モータです。
- 企業：株式会社Piezo Sonic 本社
- 価格：応相談
NM_多軸半導体製造装置向け、高トルク精密位置決め超音波モータ
重たいモノも複数の超音波モータでトルクを増やし、高速移動と高精度位置決めを両立します。
Nanomotionの超音波モータ「SE」「HR」は、真空中でも使える高速移動（最速500mm/sec）と高精度な1nm位置決めが可能な製品です。 さらに特徴的なのは駆動力。HR8モータはひとつで最大32Nのトルクがあります。 たとえばHR8モータを4つ使ってトルクを128Nすることができ、ステージをいくつも重ねたり、重たい積載物を移動させることも可能です。 ※ペイロード荷重は、移動速度や精度、ステージの大きさなど条件により大きく変わります。 ■半導体製造評価用1nm多軸精密ステージ SEモータを使ったサブnmのステップ分解能を持つ真空チャンバ内で使用される3軸ステージ。 ■電子ビーム・イオンビーム（FIB）用ステージ 検査用4 軸(X-Y-Z-θ)で、真空仕様、非磁性対応。 1nm の高分解能で6nm 以下の位置安定性を実現。 ■ライトシート顕微鏡用ステージ 10nmの精度を実現し、安定した低速度実現（200nm/sec）しています。 XYZとTip-Toltの5軸。 ※その他は下部の「実績例」をご参照ください。
- 企業：株式会社工苑
- 価格：応相談
