超音波顕微鏡×一般財団法人材料科学技術振興財団　MST - メーカー・企業と製品の一覧

［C-SAM］超音波顕微鏡法

C-SAMは、試料の内部にある剥離などの欠陥を非破壊で観察する手法です。

C-SAMは、SAT：Scanning Acoustic Tomographyとも呼ばれます。 ・X線CTによる観察では確認が困難な「電極の接合状態」や「貼り合わせウエハの密着性」などの確認に有効。 ・反射波のほか、透過波の取得も可能。

• 企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
• 価格：応相談

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