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軸ロボット(製造) - List of Manufacturers, Suppliers, Companies and Products

軸ロボット Product List

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【ガイドブック進呈】精密な位置決めを実現するアライメントステージ

用途に適した位置決めステージを選定!単軸組合せや高剛性のYRAシリーズ、超高精度のRSTAシリーズなどをご紹介

製造過程において、製品の精度や品質を向上させるために正確な位置決めは重要です。 その中でも、アライメントステージには、標準的な位置決めステージに要求される精度はもちろんのこと、 追従性、位置安定性などが非常に重要な項目となってきます。 そのため、アライメント時に要求される精度、位置決め時間などに応じて好適なステージを選定する必要があります。 神津精機では、用途に合わせた様々なアライメントステージをご用意しております。 高精度、高剛性を両立させたガイド機構を採用した「YRAシリーズ」や 駆動ユニットを均等に配置することにより0.1μmピッチでの高い 追従性を実現する「RSTAシリーズ」を掲載。 【YRAシリーズ】 ■高精度、高剛性を両立させたガイド機構 ■薄型・軽量・小型を実現 ■高精度研削ボールねじを採用 ■制御の容易なステッピングモーターを採用 また、アライメントステージに関するガイドブックをご用意いたしました。 選定にあたって、ぜひご参考にしていただけますと幸いです。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

  • その他機械要素

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半導体製造装置・検査装置に好適なアライメントステージ

0.1μmの追従性を実現する『RSTアライナー』と薄型・小型の省スペースの『YRAシリーズ』から用途に合わせ、お選び頂けます。

【RSTアライナー】 ■最大の特徴である駆動ユニットのバランスの取れた正三角形配置がアライメントに必須の超高精度な微少駆動を可能に ■リニアスケール等のフィードバックを掛けずに0.1μm±20nmの高い追従性を実現 ■ベアリングを使用していない為、大口径の透過穴が実現可能 ■ウエハサイズやワークサイズに合わせ、テーブルサイズも自在 ■貼り合わせ用途などで必要とされるZ機構追加可能 ■高耐荷重仕様、外観色の変更、仕様等、カスタム対応 【YRAシリーズ】 ■薄型・小型の省スペースながら、高精度・高剛性を実現 ■XYθ軸の各軸が独立して動作する一体型構造 ■用途に合わせた4型式をラインアップ ・YRA-070:シリーズ最小のアライメントステージ ・YRA-071:多様なモータ変更要求に対応可能 ・YRA-131:中小型液晶やウエハの貼り合わせに好適 ・YRA-200:シリーズ最大の高耐荷重仕様

  • 半導体検査/試験装置
  • その他半導体製造装置
  • その他画像関連機器

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