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X-Y-Z-θx-θy-θzの全方向において、高精度アライメント(ターゲット1μm以下)が可能になりました。
従来の「RSTアライナー」の駆動ユニットにダブルクサビ方式を使用したパラレルリンク機構を採用したことで、昇降、チルト駆動も1台で実現。 【特長】 ■6軸駆動でも低床を維持。 ■駆動ユニットを、バランスのとれた正三角形に配置することで高い追従性を実現。 ■高剛性クロスローラガイド搭載により、高耐荷重仕様。（貼り合わせ時の加圧も問題なし） ■駆動モーターを選択可能。各社サーボモーター、ステッピングモーター、AZモーター等 ■テーブルに大口径透過穴を搭載。 ■駆動部をユニット化したことにより、テーブルサイズや形状を自由に設計可能なので、ご要望にぴったりのステージをご提案。 ■制御に必要なDLL/サンプルコードをご提供。
生産装置、分析装置で培ってきたノウハウを凝縮！
『USM-R1C-001』は、高精度・高剛性はそのままに、小型軽量化を実現した 超小型6軸マニピュレータです。 全軸ボールネジ駆動により、長寿命。 安定した精度を長期間持続し、再現します。 また、直線方向でサブミクロン、角度で秒単位の追従性を有しており、 高い精度で指令値通りの位置決めを完了します。 【特長】 ■集中コネクタユニット ■面倒な多軸の配線作業が容易 ■小型・軽量 ■高速で稼働する搬送軸への搭載が可能 ■高追従性 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問合せください。
回転3軸とZ軸にマイクロメータを採用！コンパクトな6軸ユニットをご紹介
当製品は、光ファイバーの調芯専用に開発された6軸ユニットです。 光軸Z軸(フォーカス方向)に対してのXY軸には、サブミクロンの位置決めが 可能な精密ポジショナー「FPP03-13」を採用。 旧モデルと比較して剛性が向上しているため、光ファイバー以外にも 調芯用光学測定器を搭載することが可能で、今までの調芯時間を大幅に 短縮できます。 【特長】 ■光ファイバーの調芯専用に開発された製品 ■回転3軸とZ軸：当社標準マイクロメータを採用 ■精密ポジショナー「FPP03-13」を採用 ■光ファイバー以外にも調芯用光学測定器を搭載することが可能 ■今までの調芯時間を大幅に短縮できる ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
小型かつ高精度・高剛性を実現した6軸マニピュレータをご紹介いたします！
『MPS-SSSD-B010』は、液晶プロジェクタ、CCDカメラの素子を貼り付ける 際の微細な位置決めに好適な小型6軸マニピュレータです。 従来製品と比較して、小型化、軽量化、高剛性化を同時に実現。高さを50% ダウン、幅を40%ダウン、重量を30%ダウン、剛性を30%アップいたしました。 ご用命の際は、お気軽にお問い合わせください。 【特長】 ■小型 ■高精度 ■高剛性化 ■微細な位置決めに適している ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
サブミクロン分解能で、6自由度の正確な位置決めが可能！用途に応じた好適な組み合わせをご提案
当社が取り扱う6軸マニピュレータ『MPS/SMR/USMシリーズ』をご紹介します。 様々なステッピングモーターやサーボモーターを自由に選択可能。 “回転中心下向き”をはじめ、“逆さ使い”“全軸ボールネジ駆動”など 組み合わせが自在です。 位置決め後のワークに対する加圧を前提とした高強度設計となっており、 高分解能タイプやストローク変更など、50パターンの豊富な製作実績もございます。 【特長】 ■手のひらサイズの超小型 ■0.05μmを手動で操作 ■ズレない6軸 ■30kg高荷重もサブミクロンで ■組み合わせ自在 ■モーターを自由に選択可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
主な材質にSUSを採用！高い剛性を有しているゴニオメータをご紹介いたします
当製品は、同一の回転中心にて試料のアライメントが可能なゴニオメータです。 主な材質にSUSを採用しており、独自の摺り合わせ技術を用いることで、 高い剛性を実現。 動作軸はスイベル(ゴニオ)、θの2軸ですが用途に応じてXY軸を追加する ことも可能ですので、ご要望の際には、お気軽にお問い合わせ下さい。 【特長】 ■試料のアライメントが可能 ■主な材質にSUS採用 ■高い剛性を有す ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
自由波形の駆動は解析に余裕のある64秒まで設定可能！様々な振動を再現します
『TSSシリーズ』は、デジタルカメラ・カムコーダやモバイル端末、監視 カメラまで様々な画像機器に搭載されるブレ補正機能の検証を行うもので、 手ぶれなどによる振動の再現ができるシミュレータです。 軸構成がθX,θY、θZの「TSS-1000」と、θX,θZの「TSS-M0210Y」を ラインアップ。 近年、高倍率化・高画素化が進むカメラにはブレ補正が必須となり、 なかでも重要な自由振動波形駆動に対応可能な振動台となっております。 【特長】 ■高性能ピッチ・ヨー・ロール ■タッチパネル採用のコントローラ（TSS-1000のみ） ■簡単・使いやすいソフトウェア ■装置全体を搭載する箱型定盤もご用意（オプション） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
さまざまな装置を容易に構成することが可能！水平配置及び垂直配置の両方に対応
『MAX-Gシリーズ』は、大型X線回析計を構成するコンポーネントとして 開発された高荷重ゴニオメータです。 当製品は、水平配置及び垂直配置の両方に対応しているため、 さまざまな装置を容易に構成することが可能。 また、オプションとしてエンコーダを取り付けることや、当社コントローラ 「SCシリーズ」と併用することでフィードバック制御もできます。 【特長】 ■大型X線回析計を構成するコンポーネントとして開発 ■水平配置及び垂直配置の両方に対応 ■さまざまな装置を容易に構成することが可能 ■オプションとしてエンコーダを取り付けることや、 「SCシリーズ」と併用することでフィードバック制御もできる ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
0.1μmの追従性を実現する『RSTアライナー』と薄型・小型の省スペースの『YRAシリーズ』から用途に合わせ、お選び頂けます。
【RSTアライナー】 ■最大の特徴である駆動ユニットのバランスの取れた正三角形配置がアライメントに必須の超高精度な微少駆動を可能に ■リニアスケール等のフィードバックを掛けずに0.1μm±20nmの高い追従性を実現 ■ベアリングを使用していない為、大口径の透過穴が実現可能 ■ウエハサイズやワークサイズに合わせ、テーブルサイズも自在 ■貼り合わせ用途などで必要とされるZ機構追加可能 ■高耐荷重仕様、外観色の変更、仕様等、カスタム対応 【YRAシリーズ】 ■薄型・小型の省スペースながら、高精度・高剛性を実現 ■XYθ軸の各軸が独立して動作する一体型構造 ■用途に合わせた4型式をラインアップ ・YRA-070：シリーズ最小のアライメントステージ ・YRA-071：多様なモータ変更要求に対応可能 ・YRA-131：中小型液晶やウエハの貼り合わせに好適 ・YRA-200：シリーズ最大の高耐荷重仕様
独自の内部構造によりサブミクロンの位置決めが可能に！当社の精密ポジショナーをご紹介
『FPP03-13』は、高分解能の位置決めを手動で可能にする 精密マイクロメータです。 独自の内部構造により、サブミクロンの位置決めが可能になりました。 最小読取りは0.5μm/1目盛（微動部）、軸方向負荷は最大5Kgf以下 （49N以下）となっております。 【仕様（一部）】 ■構造 ・粗動：送りネジ方式 ・微動：送りネジ＆レバー ■移動量 ・粗動：13mm（0.5mm/1回転） ・微動：0.3mm（25μm/1回転） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
高い追従性0.1μm±20nmを実現！サブミクロンでのステップを綺麗に刻みます
『RSTアライナー』は、駆動ユニットをバランスの取れた正三角形に 配置した超高精度アライメントステージです。 この軸配置がアライメントに必須の高精度な微少駆動を可能にしました。 制御に必要な計算式は無償提供いたします。 モンブランシリーズで培った技術の粋を集約。高い分解能設定でも、 感度良く追従します。 【特長】 ■バランスの取れた正三角形配置 ■専用設計の駆動ユニット ■大口径透過穴 ■テーブルサイズ自在 ■Z機構の追加可能 ■カスタム対応 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
用途に適した位置決めステージを選定！単軸組合せや高剛性のYRAシリーズ、超高精度のRSTAシリーズなどをご紹介
製造過程において、製品の精度や品質を向上させるために正確な位置決めは重要です。 その中でも、アライメントステージには、標準的な位置決めステージに要求される精度はもちろんのこと、 追従性、位置安定性などが非常に重要な項目となってきます。 そのため、アライメント時に要求される精度、位置決め時間などに応じて好適なステージを選定する必要があります。 神津精機では、用途に合わせた様々なアライメントステージをご用意しております。 高精度、高剛性を両立させたガイド機構を採用した「YRAシリーズ」や 駆動ユニットを均等に配置することにより0.1μmピッチでの高い 追従性を実現する「RSTAシリーズ」を掲載。 【YRAシリーズ】 ■高精度、高剛性を両立させたガイド機構 ■薄型・軽量・小型を実現 ■高精度研削ボールねじを採用 ■制御の容易なステッピングモーターを採用 また、アライメントステージに関するガイドブックをご用意いたしました。 選定にあたって、ぜひご参考にしていただけますと幸いです。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
