銀イオン水のメーカーや取扱い企業、製品情報、参考価格、ランキングをまとめています。
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銀イオン水 - メーカー・企業31社の業務用製品ランキング | イプロスものづくり

更新日: 集計期間:2026年02月18日~2026年03月17日
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銀イオン水のメーカー・企業ランキング

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  1. 大洋香料株式会社 東京支店 香粧品課 東京都/その他
  2. 株式会社イオンテクノセンター 大阪府/試験・分析・測定
  3. 北斗電子工業株式会社 兵庫県/試験・分析・測定
  4. ASPiAJAPAN株式会社 東京都/建材・資材・什器
  5. 5 日本イオン株式会社 東京都/樹脂・プラスチック

銀イオン水の製品ランキング

更新日: 集計期間:2026年02月18日~2026年03月17日
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  1. 抗菌素材『リシノレックス』 大洋香料株式会社 東京支店 香粧品課
  2. イオンカウンター『NKMH-103』 北斗電子工業株式会社
  3. 【ユーザー実績】クーラントフレッシュ CF-50 株式会社NMC
  4. 4 水溶性切削油腐敗防止剤『アクアナイン』 株式会社エーピー・コーポレーション
  5. 4 Ag+銀イオン水『CERAS(セラス)』 ASPiAJAPAN株式会社

銀イオン水の製品一覧

1~30 件を表示 / 全 56 件

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サビレックス 高純度薬液用PFAボトル

超高純度酸保存の厳格な要求に応える清潔性と密閉性を極めたPFAボトル

サビレックスのPFAボトルは原料に高純度樹脂を使用した高品質ボトルで、半導体業界などでの微量元素分析に使用される高純度酸の保存容器や流通容器としても適応します。 独自のフッ素樹脂ストレッチブローによる歪みがない成型技術により、内蓋を使わずに極めて高い気密性と密閉性を実現し、空気によるコンタミネーションを排除した薬液の安全な保管を促進します。 また、機械による2次切断工程がないため微量金属の付着および樹脂微粒子混入の原因となる注出口の微細な切削痕もありません。 注出口には窪みが一切ないため薬液の残液ロスがなく、側面の厚さが均一のため気体透過性にもばらつきがありません。 安価なPFAボトルとはまったく異なる品質で、不純物溶出の恐れがなく、ほぼ全ての薬液に対して不活性です。

  • Savillex_Bottle_Standard_20251001_001.jpg
  • Savillex_Bottle_Standard_20251001_002.jpg
  • SV_Bottle_Standard_Leak1.jpg
  • SV_Bottle_Standard_Leak2.jpg
  • SV_Bottle_Standard_Neck1.jpg
  • SV_Bottle_Standard_Neck2.jpg
  • SV_Bottle_Standard_Smooth1.jpg
  • SV_Bottle_Standard_Smooth2.jpg
  • SV_Bottle_Standard_Lip2.jpg
  • その他
  • 銀イオン水

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大気イオンカウンタ

プラス/マイナスイオンの個数を高精度測定

プラス/マイナスイオンの個数を高精度測定 ■イオン個数0〜2900万(個/CC)を測定 ■サンプリング風量調節可 3〜18(l/min) ■専用パソコンソフトよりらくらくデータ収集

  • 分析機器・装置
  • 銀イオン水

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プラズマイオン注入装置『PUPIONシリーズ』

放射性汚染を最小限に抑制!用途に応じたプラズマ励起技術を提案可能

『PUPIONシリーズ』は、プラズマイオン注入装置です。 ナノエレクトロニクス・フォトニクスでのShallow depth dopingや β放射線医療のグレードの放射性同位。 放射性同位元素注入時の放射性汚染を最小限に抑制し、 用途に応じたプラズマ励起技術の提案が可能です。 【特長】 ■ナノエレクトロニクス・フォトニクスでの  Shallow depth dopingやβ放射線医療 ■グレードの放射性同位 ■放射性同位元素注入時の放射性汚染を最小限に抑制 ■用途に応じたプラズマ励起技術を提案可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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ナチュラル銀イオン水

清潔にしたい場所へ“シュッ”とひと吹き!様々な場所で安心して使えます

『ナチュラル銀イオン水』は、純水に銀イオン(AG+)が溶けた機能水です。 銀イオンの保有する抗菌力が、ニオイの原因菌を退治することで、 菌が原因となる様々なニオイの発生防止、防カビにご活用いただけます。 強い除菌・抗菌効果を持ちながら、機械や金属類の腐食・皮膚への刺激・ 薬品臭・環境汚染等がほとんど無く安全で、人と環境に配慮した素材です。 【特長】 ■除菌・抗菌・防臭・洗浄に高い効果を発揮 ■ペットにも使用できる ■無味無臭、無色透明で扱いやすい ■成分は純水と銀イオンのみ。化学薬品、香料は不使用 ■金属にも使える ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

  • そのほか消耗品
  • 銀イオン水

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CALFA SPAC (カルファスパック)

「アルカリ泉」でも、多数の入浴者が「汗(アンモニア)」を出す浴場でも、殺菌効力を低下させず、簡単・安全・確実にレジオネラ菌を殺菌

塩素、二酸化塩素、イソシアヌル酸系塩素剤などのワンパターンな殺菌方法では、次第に塩素に強いバクテリアが生成されるだけで(耐性を持つ)、やがて通常の濃度の薬剤では効果しなくなります。「暗号化殺菌」とは、あらゆる攻撃パターンでバクテリアに耐性を作らせにくくするカルファケミカル社独自の技術です。通常は、2〜3種類と数日おきに、薬剤の種類を変えている施設様もいらっしゃいますが、CALFA SPAC (カルファ・スパック)の「暗号化殺菌」技術は、「1種類」でこれを実現出来ます。 ここまで複雑なアタックパターンを組み込むと、バクテリア側から見ると、まさに超難解なパズルとなり、耐性を得る(パズルを解く)までに途方もなく長い期間を要するでしょう。 この複雑なアタックパターン。 これこそが 「暗号化殺菌」 です。 他の殺菌剤にはない、CALFA SPAC (カルファ・スパック)独自の殺菌技術です。 是非、一度、お試しください。

  • 洗浄剤
  • 消毒液
  • その他安全・衛生用品
  • 銀イオン水

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アルミイオン注入深さ分析

検出下限を1E16n/cm3に下げることが出来ました。SIMSによる分析結果の紹介

半導体材料開発には不純物分析が重要ですが、高感度で分析できる二次イオン 質量分析(SIMS)が適しています。 SIMS(アルバックファイ:ADEPT-1010)によって、シリコンへアルミニウムを イオン注入したサンプルを分析した結果を紹介します。 アルミニウムの質量数はシリコンと隣接しているため Q ポール型 SIMS では 測定が困難ですが、測定条件を最適化することによって検出下限を 1E16n/cm3に下げることが出来ました。 【注入条件】 ■エネルギー :180keV ■ドーズ量 :1E15n/cm2 (ドーズ量は当社の RBS によって得られた値を使用) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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【Q&A】イオン注入・分析のよくあるご質問

イオン注入・分析のよくあるご質問をQ&A形式でご紹介しています

イオンテクノセンターは、先端材料へのイオン注入サービスを行っております。 資料では、イオン注入・分析のよくあるご質問をQ&A形式でご紹介。 「イオン注入とは?」をはじめ、「アモルファスとは?」や 「サンプルなどの情報の機密保持は?」等、様々なご質問にお答えしています。 【掲載内容(抜粋)】 ■Q.イオン注入とは? ■Q.イオン注入できるサンプル、ウェハの大きさや種類を教えてください。 ■Q.イオン注入を立ち合いで確認することはできますか? ■Q.アモルファスとは? ■Q.サンプルなどの情報の機密保持は? ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

  • ウエハー
  • イオン注入装置
  • その他受託サービス
  • 銀イオン水

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空気イオンカウンター NT-C101A レンタル

簡単操作!プラスイオン、マイナスイオンを切替えで測定可能です。

空気イオンカウンター NT-C101Aは、高信頼性の同軸二重円筒センサーを搭載し、測定値表示は JIS B 9929 規格に基づいた換算式により算出します。 軽量・小型のため持ち運びでき、屋外での測定にも最適。 マイナスイオン関連の製品開発や販売促進及び品質の確認用(イオン発生器やイオンドライヤー等の測定にも最適)、自然界の空気イオン(滝・川・森林・山 等々)研究用などにご活用ください。 【特徴】 ○独自構造で小型化を実現 ○広範囲のイオン量測定が可能(10個~299.9万個) ○ウォーミングアップ時間は10秒 ○AC電源及び乾電池の2電源方式 ○縦置き・横置き、どちらでも可能 詳しくはお問い合わせください。

  • レンタル/リース
  • その他計測・記録・測定器
  • 銀イオン水

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非塩素系 銀イオン系お風呂の水処理殺菌剤「スパガードAg」

銀イオンのチカラでお風呂の「気持ち良さ」と「衛生管理」を守ります!

「スパガードAg」は、銀イオンを湯水に添加することで水中の細菌繁殖を抑制(殺菌)する即溶性の水処理殺菌剤です。 衛生管理の一般的な指標菌である「大腸菌群」や「レジオネラ属菌」を始め様々な細菌に効果があります。 銀イオンを水中に直接添加する「水中添加型の銀イオン殺菌法」になりますので、殺菌効果の残留性が非常に高く、安定的な衛生管理が必要となる浴場水や工業用水の殺菌に優れています。 【特長】 ○レジオネラ属菌、大腸菌群、白癬菌など様々な細菌の繁殖を抑え、  湯水の衛生と保つ ○残留性の高い殺菌方法 ○pH9以上のアルカリ泉でも使用できる ○温泉の湯質(肌触り・色・香り)を変化させない 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

  • そのほか消耗品
  • 水処理装置
  • その他安全・衛生用品
  • 銀イオン水

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水溶性切削液用腐敗防止剤「スメルカット」

工場内に漂う切削液の腐敗臭… あのいや~な臭いを解決します!

「スメルカット」は、抗菌効果に優れた“銅イオン”が主成分の水溶性切削液用腐敗防止剤です。 水溶性切削液の腐敗を防止することで、産業廃棄物発生量を大幅に減少させることが可能になり、産業処分の掛かる経費が削減できる上に、地球環境保護にも貢献します。 切削液は、ほとんどの種類に適合します。 特殊と思われる場合は、お試し用のサンプルを用いてご評価の上、ご利用ください。 【特長】 ○薬液の使用量が減少できるので、ISO14000取得の事業所にお勧め ○工場内や近隣に悪臭が漂うことがなくなり、環境改善に役立つ ○腐敗菌による皮膚疾患等の二次災害を防止できる ○環境系廃管内部のスライムを剥離する効果もある ○スメルカットを使用しても切削刃・加工製品には影響なし 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

  • その他安全・衛生用品
  • そのほか消耗品
  • 銀イオン水

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モノクロラミン製剤「Flip-Flap(フリップ・フラップ)」

レジオネラ対策を簡単・安価に!設備不要で手軽に使えるモノクロラミン消毒法

「Flip-Flap(フリップ・フラップ)」は、塩素消毒を永年研究してきた関秀行先生の画期的発明の、レジオネラ属菌の繁殖メカニズムの解明から考案された設備不要で手軽に使えるモノクロラミン消毒法です。 用法に従って定期的に散布するだけで、バイオフィルムが剥離し、再付着が防止されます。 入浴時間外に本剤を利用し、入浴時間帯の浴槽の湯は保管所の指導に従った遊離残留塩素で消毒するという合法的な衛生管理ができます。 【特長】 ○レジオネラ対策を簡単・安価に ○バイオフィルムが剥離して、ヌルヌル解消 ○高濃度塩素消毒が不要で、省コスト達成 ○特許第4906572号(2014年1月20日登録) 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

  • そのほか消耗品
  • 水処理装置
  • その他安全・衛生用品
  • 銀イオン水

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抗菌素材の選定「銀イオン・ナノシルバー」

抗菌素材の選定にお悩みでしたら、日本イオン株式会社へご相談ください。

世界的に多様化・充実化している銀の抗菌素材。 商品開発でコスト・抗菌性・応用性を踏まえた抗菌素材の選定にお悩みでしたら、日本イオン株式会社へご相談ください。 【銀を利用した抗菌素材の種類】 ○銀イオン水・銀イオン発生器・銀イオン濃縮液 ○銀ゼオライト・銀ジルコニウム ○ナノシルバーパウダー・ナノシルバー合成樹脂 ○ナノシルバー分散液(水ベース・エタノールベース・MEKベース) 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

  • そのほか消耗品
  • 水処理装置
  • その他安全・衛生用品
  • 銀イオン水

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日本イオン株式会社 抗菌素材の選定のご案内

私たちが銀イオン・銅イオン製品の開発をお手伝いいたします

当社では、設立以来60年のあいだ蓄積してきた銀イオン・銅イオン抗菌技術 の経験とノウハウを基に、お客様のニーズに併せて「原料供給・受託製造・ 商品開発・試験調査・コンサルタント」など多様なサポートが出来る体制を 整えております。 世界的に多様化・充実化している銀の抗菌素材。 商品開発でコスト・抗菌性・応用性を踏まえた抗菌素材の選定にお悩み でしたら是非当社へご相談下さい。 【サービス内容】 ■水処理事業 ■抗菌原料事業 ■抗菌コンサル事業 ■製造開発事業  他 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

  • その他 ガス発生装置
  • その他 コンサルティングサービス
  • 銀イオン水

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日本イオン株式会社 温泉施設における銀イオン殺菌装置の有用性

温泉施設における銀イオン殺菌装置の有用性について詳しくご紹介しています

このカタログは、主に銅イオン・銀イオンによる殺藻・殺菌装置の企画、 製造、販売を行っている日本イオン株式会社のカタログです。 銀イオン殺菌の特長や、温泉のレジオネラ対策と銀イオン、温泉における 塩素添加の問題点などをふまえ、「温泉施設における銀イオン殺菌装置の 有用性」についてご紹介しています。 また、当社の銀イオン発生装置「イオンクリーナー」についても掲載して おりますので、ぜひご覧下さい。 【掲載概要】 ■温泉施設における銀イオン殺菌装置の有効性 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

  • その他 ガス発生装置
  • その他 コンサルティングサービス
  • 銀イオン水

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『高純度 酸洗浄 PFAボトルパック』

半導体製造前工程に使用する薬品、有機溶剤メーカー様向けのPFAボトル。EUV用途での容器(ボトル)も開発中です。

ナノテクノロジーの進化に伴い、半導体製造の現場においては、 これまで以上に高純度の清浄環境や設備装置が求められています。 このような分析需要に対応すべく、当社はハイスペックな『PFAボトル』を 提供致します。 当製品は、元来金属イオンが少ない材質ですが、独自の洗浄技術により 極限まで金属イオンを削減しています。 【特長】 ■独自の技術で洗浄 ■過酷な環境でも金属イオン溶出を極微量に抑えられる ■金属イオンが少ない材質 ■極限まで金属イオンを削減 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

  • その他実験器具・容器
  • 製造受託
  • 銀イオン水

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『Ag+銀イオン水とは』

銀イオンの持つ除菌力がニオイの原因菌を退治!除菌・抗菌・消臭に有効

当資料では、除菌・抗菌・消臭効果のあるAg+銀イオン水について解説。 銀イオン水とは、純水に銀イオン(Ag)が溶けた状態の水を指します。 濃度は、1Lの水に何gの銀イオンが溶出しているかで表します。 1Lの水に1g(1000mg)の銀イオンが溶出していると1000ppmになります。 銀イオンの除菌力がニオイの原因菌を退治することで、 菌が原因となるニオイの発生を防ぐことが可能になります。 銀イオンの抗菌力は、腐敗臭を含むいろいろな ニオイの発生防止にご活用いただけます。 【用途】 ■靴・靴箱・玄関マットの防臭に ■お風呂のカビ対策に ■カーテンやカーペット・マットに ■まな板の除菌・防臭に ■加湿器の水として使い部屋全体の除菌に など ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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『銀イオン水の特長』

化学薬品不使用!消臭・抗菌・除菌効果の高い銀イオン水の特長を詳しく紹介

当資料では、銀イオン水の持つ様々な特長を解説します。 銀イオン水は消臭・抗菌効果が高い銀イオンを溶かした水です。 無味無臭・無色透明な液体で、化学薬品や香料は使用しておらず 成分は銀イオンと純水のみなので安心してご使用できます。 金属の錆びを引き起こさず、手も荒れないので手袋などの必要もありません。 さらに除菌効果も高く、日本食品分析センターの分析結果からデータとして 様々な病原菌やウイルスに効果があることが判明しています。 【特長】 ■消臭・抗菌・除菌に有効 ■無味無臭・無色透明 ■化学薬品・香料不使用 ■金属の錆びなし ■手荒れしない ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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【抗菌・消臭・防カビ】ECOSAS Ag+COOL銀イオン水

【抗菌・消臭・防カビ】原材料が全て国産・食品添加物で安心で用途を選ばない銀イオン水!

当社では、化学薬品を使わず電気分解製法で作られた不純物のない安心な 『ECOSAS Ag+COOL銀イオン水』を取り扱っています。 銀イオンの優れた効果を利用して除菌・抗菌・消臭・防カビが可能です。 ご要望の際はお気軽にお問い合わせください。 【製品概要】 ■容量:100ml 入数72本 ■成分:銀イオン・純水・ハッカ油・エタノール ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

  • その他安全・衛生用品
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高精度 空気イオンカウンタ[小型タイプ]

マイナスイオン製品などの商品開発における「性能評価」に! 【高精度 空気イオンカウンタ】

【高精度 空気イオンカウンタに小型タイプ】 ◎マイナスイオン製品などの商品開発における、「性能評価」に ◎大学や研究機関などにおける、「本格的なイオン研究」に --- 特長 ------------------------------------------------------- ●測定範囲 MAX 5,000万個/㎤ ●二重円筒型一電極式(ゲルディエン型)を採用 ●JIS(B9929)規格に準拠 ●風量による「測定補正機能」搭載 ●正と負の両極を測定可能 ●待ち時間は、たったの約30秒 ●持ち手付きだから、持ち運ぶ時も安心 ●安心の日本製

  • その他計測・記録・測定器
  • 銀イオン水

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ボルタック式純銀イオン水 銀のチカラ

特許化された純日本技術での製造で、広範囲な銀イオン水濃度調整が可能!迅速・強力・持続性の高い消臭・抗菌・防カビ・抗ウイルスを実現

『ボルタック式純銀イオン水』は、従来の銀ゼオライト方式などにみられる 純水と銀板のみ使用の特許製法により、製造時に化学品(硝酸・硫酸)をイオン化のために使用せず、またゼオライト吸着銀イオンのように使用前の水中撹拌が不要な純銀イオン水です。 電気分解法で低濃度から高濃度まで、広範囲な銀イオン水濃度調整が可能。 また、目的に応じた濃度の選定で、より迅速・強力・持続性の高い除菌・ 消臭・防カビを実現します。 【特長】 ■純水と純銀のみの電気分解法で生成 ■安全性・抗酸化性に長ける ■使用前の水中撹拌が不要 ■広範囲な銀イオン水濃度調整が可能 ■迅速・強力・持続性の高い除菌・消臭・防カビを実現 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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イオンカウンター『NKMH-103』

イオン関連製品の販売促進に!

『NKMH-103』は、プラスイオンとマイナスイオンを同時測定・表示する イオンカウンターです。 複雑な設定や操作を必要としない簡単測定で、 2,000万個までのイオン数を測定可能です。 ご要望の際はお気軽にお問い合わせください。 【用途】 ■イオン関連製品の開発 ■イオン発生器の測定 ■デモンストレーション ■屋外・屋内空気の測定 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

  • その他計測・記録・測定器
  • 銀イオン水

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【回路形成】イオン注入

露光された表面の電気的特性を変化!半導体の回路形成についてご紹介

当社の半導体における、回路形成「イオン注入」についてご紹介します。 「イオン注入」は、半導体素子を形成するために チップ製造中に何度も使用。 イオン注入中ウェーハは、ドーパントと呼ばれる帯電した イオンのビームによって衝撃を受け、露光された表面の 電気的特性を変化させます。 【特長】 ■半導体素子を形成するためにチップ製造中に何度も使用 ■露光された表面の電気的特性を変化 ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

  • その他半導体
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水溶性切削油腐敗防止剤『アクアナイン』

作業者の健康被害の減少に貢献!高い安全性が証明されている水溶性切削油腐敗防止剤

『アクアナイン』は、「腐敗による悪臭を消す」と同時に「腐敗による 切削油の劣化」を防ぐ環境に配慮した薬剤です。 当製品を投入した場合、臭いは7日間で殆どなくなり、見違えるくらい 環境改善に貢献可能。悪臭の元になっている細菌(バクテリア)、 真菌(かび)に直接働きかけ、臭いの根本をとり除く働きをします。 また、厚労省の外郭団体である日本食品分析センターで「経口毒性から ダイオキシンまで」高い安全性が証明されています。 【特長】 ■忌避効果 ■防臭効果 ■高い安全性 ■作業者の健康被害の減少に貢献 ※詳しくは、お気軽にお問い合わせ下さい。

  • 防かび剤(防ばい剤)
  • 薬剤・防カビ資材
  • 脱臭剤
  • 銀イオン水

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銀イオン塗料

全色可能!一般の抗菌塗料、防かび塗料とはまったく異なる塗料のご紹介

当製品は、銀イオンでできた塗料で、カビ、細菌、ウイルスを滅菌します。 また、消臭もしますので、環境に大きな効果があります。 1度塗布すれば10-20年は塗り替えの必要はありません。 病院、介護施設、学校、幼稚園、保育園、公共施設など多くの場所で 使用できます。 日塗工番号かマンセル値があればすべての色は可能です。 【特長】 ■塗布した塗料にカビが発生することがない ■ウイルスや細菌も付着することもない ■外壁用でも内壁用でも同じ効果を持つ ■強力な消臭力 ■日塗工番号があれば全色を製造可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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Ag+銀イオン水『CERAS(セラス)』

東京医科歯科大学分子生命医学講座との共同開発!抗菌効果を実証しています!

『CERAS(セラス)』は、国内製造・国内原料であり、原材料全てが 食品添加物で製造しているAg+銀イオン水です。 小さなお子様の玩具や食器類、マスク内側にも使用可能。 また、ペット用品はもちろん愛犬、愛猫のボディーにもシュシュっと 直接スプレーして除菌・抗菌ができます。 【ラインアップ】 ■TYPE1:CERAS COOL Ag+銀イオン水 ■TYPE2:CERAS Ag+銀イオン水 業務用 ■TYPE3:CERAS Ag+銀イオン水 業務用 詰替えボトル ■TYPE4:CERAS Ag+銀イオン水 噴霧用 ■For PETS・For PETS 詰替用 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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スメルカット(水溶性切削液用腐敗防止剤)

抗菌効果に優れた銅イオン主成分のスメルカット!! 工場内に漂う切削液の腐敗臭を防ぎ、切削液を新鮮に保ちます!

スメルカットに含まれる銅イオンが切削液の腐敗菌に対してとても殺菌効果があり、腐敗を防ぐことで工場内や近隣への悪臭がなくなります。 また、皮膚疾患等の二次災害も防止できます。 水溶性切削液の交換がほぼ不要となりコストの大幅削減が可能になります。

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粉末用イオン注入装置

IonPOWDERによる粉体の革新的な表面処理。 粉体へのイオン注入(Ion Implantation)で表面改質を実施。

特徴 ・多種のガスが使用可能(Ar, He, N2, O2, SiH4, 混合ガス) ・装置はレシピで動作可能 ・PVD(physical vapor deposition)機構も、増設できます。 プロセスの利点 低温表面処理:元の材料特性が保持されます。 コーティング不要:イオンが深部までで注入されるため、表面は剥がれません。 部品の形状を尊重:追加の加工が不要です。 精密で局所的な表面処理:プロセスの最適化が可能です。 サンプルの電気伝導性:問いません。絶縁材料も処理可能です。 環境:ドライプロセスなので、化学的な廃棄物はありません。 イオン注入の効果 鋼材:表面硬化(ステンレス鋼で4倍)、優れた耐摩耗性。 ステンレス316L:摩擦係数が1/2に、ピッチング耐性が10倍に向上。 アルミニウム:表面硬化(7倍)、摩擦係数の大幅な低減、高い腐食抵抗性。 銅および銅合金:酸化および摩耗に対する強い耐性、表面硬化(4倍)。 金:表面硬化(7倍)、密度の増加、電気めっき層の気孔率の大幅な低減。

  • 自動車用コネクタ
  • アルミニウム
  • プラズマ表面処理装置
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酸素リークによる深さ分析

SIMSによってシリコンへボロンをイオン注入したサンプル分析結果を紹介。

材料開発には不純物分析が重要ですが、高感度で分析できる二次イオン質量 分析(SIMS)が好適です。 ここでは SIMS(アルバックファイ:ADEPT-1010)によってシリコンへボロンを 3keVのエネルギーでイオン注入したサンプルを分析した結果を紹介します。 特に酸素リークによってボロンの深さプロファイルが正確に分析できている ことがわかります。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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砒素イオン注入深さ分析

SIMSによる、シリコンへ砒素をイオン注入した分析結果を紹介。

当ページでは、SIMS (アルバックファイ:ADEPT-1010)によって、シリコンへ 砒素をイオン注入したサンプルを分析した結果を紹介します。 砒素(75As)はマトリックスであるシリコンと残留ガスである酸素あるいは 水素との複合分子(29Si30Si16O など)が干渉するため、質量分解能が 3190 必要です。 Q ポール型 SIMS では質量分解能が 200 程度しかなく、質量分離が困難です。 しかしシリコンと砒素の複合分子イオンを測定することによって検出下限を 2×1015 [atoms/cm3]に下げることが出来ました。 【注入条件】 ■エネルギー :700 [keV] ■ドーズ量 :1×1015 [atoms/cm2] ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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SiC 基板へのAl イオン注入深さ分析

SiC基板へアルミニウムをBOX 注入したサンプルを分析した結果を紹介。

SIMS(アルバックファイ:ADEPT-1010)によって、SiC基板へアルミニウムを BOX 注入したサンプルを分析した結果を紹介します。 SiC 基板は絶縁性が高いため、1次イオンビームを試料表面に照射すると 電荷が蓄積するため正確な測定が出来ません。そこで 1次イオンビーム 照射部分に低速電子ビームを同時照射し、電荷の蓄積を抑制することで 正確な測定が行えるようになりました。 アルミニウムの質量数(27)はマトリックスであるシリコン(28)と隣接して いるため、測定条件を最適化することによって検出下限を 6×1015 [atoms/cm3]にまで下げることが出来ました。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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