【半導体業界向け】 FCとFCDの違い。装置部材の選定ポイント。
振動か、強度か。設計者の悩みを解決するFC・FCDの使い分け。材料特性の比較から最適な選定指針を解説。
後工程のボンダやテスタ等で、高速動作時に部材の振動が収まらず位置決め精度が低下していませんか？ 装置の大型化・微細化が進む中、ベースやコラムの材料選定は装置性能を左右する重要な判断です。 ■FC250（片状黒鉛）とFCD450（球状黒鉛）の決定的な違い 振動減衰性：FC250はFCD450の約3倍という優れた吸収力を持ち、振動を早期に収束させます。 剛性・強度：FCD450はヤング率が約165GPaと高く、FC250（約90GPa）に比べ変形しにくい強さがあります。 コスト：FC250は製造時の歩留性や加工後のひずみの少なさがFCD450よりも優れ、低コストで安定生産しやすいです。 用途：装置のベース等にはFC、強度と剛性が求められるアーム等にはFCDが適しています。 ■選定の指針 1.精度優先なら：振動収束に優れるFCを選び、整定時間を短縮。 2.負荷・変形対策なら：高強度なFCDで部材の薄肉・軽量化を追求。 ヒノデグループでは、「高減衰鋳鉄」や「ミネラルキャスティング」など、設計課題に合わせた最適な材料提案が可能です。 【詳細は、下記よりカタログをダウンロード】
