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高精度インクリメンタル長さゲージ
■特長 ・高精度と高い繰り返し性 ・さまざまな測定圧に対応 ・各種プランジャー駆動方式を用意 ・MT 1281は測定圧の小さいタイプ(MT 1281 MW)を選択可能 ■仕様 ・DIADUR位相格子付Zerodurガラスセラミック ・プランジャー駆動: ケーブルレリーズ、内蔵スプリング、空気圧 ・信号周期: 2μm ・インターフェース: 1Vpp、TTL MT 1200 ・測定範囲: 12mm ・システム精度: ±0.2μm ・繰り返し性: 0.03μm MT 2500 ・測定範囲: 25mm ・システム精度: ±0.2μm ・繰り返し性: 0.09μm
マルチポイント検査装置向けインクリメンタル長さゲージ
■特長 ・高い保護等級 ・耐久性に優れたボールブッシュガイド ・取付け幅わずか15mmのコンパクトサイズでマルチポイント検査ステーションに最適 ・ST 1288は測定圧の小さいタイプを選択可能 ■仕様 ・DIADUR位相格子付ガラス ・プランジャー駆動: 内蔵スプリング、空気圧 ・信号周期: 20μm ・保護等級: IP 67まで ・インターフェース: 1Vpp、TTL ST 1200 ・測定範囲: 12mm ・システム精度: ±1μm ・繰り返し性: 0.25μm ST 3000 ・測定範囲: 30mm ・システム精度: ±1μm ・繰り返し性: 0.7μm
マルチポイント検査装置向け堅牢型アブソリュート長さゲージ
■特長 ・アブソリュート位置測定 ・堅牢性と繰り返し性に優れたセラミックベアリングのスライディングガイド ・EnDat 2.2インターフェースによるオンライン診断機能 ・取付け幅わずか15mmのコンパクトサイズでマルチポイント検査ステーションに最適 ■仕様 ・DIADUR位相格子付ガラス ・プランジャー駆動: 内蔵スプリング、空気圧 ・保護等級: IP 67まで ・インターフェース: EnDat 2.2 AT 1200 ・測定範囲: 12mm ・分解能: 23nm ・システム精度: ±1μm ・繰り返し性: 0.4μm AT 3000 ・測定範囲: 30mm ・分解能: 368nm ・システム精度: ±2μm ・繰り返し性: 0.8μm
超高精度インクリメンタル長さゲージ
■特長 ・超高精度、極めて高い繰り返し性 ・低熱膨張材料を使用した熱安定性設計 ・ボールブッシュガイドプランジャー採用 ・測定範囲が広い ■仕様 ・DIADUR位相格子付Zerodurガラスセラミック ・プランジャー駆動: モータ駆動もしくは専用カップリングを機械可動部分に接続 ・信号周期: 2μm ・インターフェース: 11μApp CT 2500 ・測定範囲: 25mm ・システム精度: ±0.1μm、±0.03μm* ・繰り返し性: 0.02μm CT 6000 ・測定範囲: 60mm ・システム精度: ±0.1μm、±0.05μm* ・繰り返し性: 0.03μm *後続電子部で直線誤差補正後
