超高精度インクリメンタル長さゲージ
■特長 ・超高精度、極めて高い繰り返し性 ・低熱膨張材料を使用した熱安定性設計 ・ボールブッシュガイドプランジャー採用 ・測定範囲が広い ■仕様 ・DIADUR位相格子付Zerodurガラスセラミック ・プランジャー駆動: モータ駆動もしくは専用カップリングを機械可動部分に接続 ・信号周期: 2μm ・インターフェース: 11μApp CT 2500 ・測定範囲: 25mm ・システム精度: ±0.1μm、±0.03μm* ・繰り返し性: 0.02μm CT 6000 ・測定範囲: 60mm ・システム精度: ±0.1μm、±0.05μm* ・繰り返し性: 0.03μm *後続電子部で直線誤差補正後
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長さや角度を、正確に測定する精密測定機器。ハイデンハインは、その心臓部(リニア・角度・ロータリエンコーダ)を一世紀以上の間、提供し続けています。その精密さ確かさは、わずか100万分の1mm(=1ナノメートル)の精密な長さや、100万分の1度という角度を正確に測定できる超高精度能力です。ハイデンハインの高精度測定技術は、半導体やエレクトロニクス機器、フラットパネルディスプレイ製造・検査装置、医療機器、また各種工作機械や機器、産業ロボット、航空宇宙探査などの宇宙産業、各種研究機関や研究室などにおいて、その実力を存分に発揮しています。