非50Ωライン測定システム『BDS2』
プロセス成功時のRF状態把握、プロセス失敗の原因や解析を行うのにも貢献！
『BDS2』は、非50ΩラインにおけるRF電力のモニタシステムです。 RFの再現性を求められる半導体の製造プロセスでは、RFの常時監視モニタ として利用できるだけでなく、電流、電圧、位相角が測定できるため マッチングボックス以降のRF状態をチャンバ毎に管理することが可能。 ログデータや、簡易スペクトラム測定機能を利用することで、プロセス 成功時のRF状態把握、プロセス失敗の原因や解析を行うのにも貢献します。 【特長】 ■非50Ωラインにおける電流、電圧、位相角モニタで、RF実効電力及び スミスチャートによるインピーダンス解析 ■周波数スイープ機能を用いたスぺクトラム解析、高調波・ノイズ成分の解析 ■内蔵のトリガ機能により、アークやパルスの立ち上がりを見逃さず キャプチャ可能で、プロセス解析・良否判定に好適 ■オプションのタイムドメイン機能を使用、最大4レベルのパルス波形をモニタ ※詳しくは関連リンクページをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：丸文株式会社
- 価格：応相談
