プロセス成功時のRF状態把握、プロセス失敗の原因や解析を行うのにも貢献！
『BDS2』は、非50ΩラインにおけるRF電力のモニタシステムです。 RFの再現性を求められる半導体の製造プロセスでは、RFの常時監視モニタ として利用できるだけでなく、電流、電圧、位相角が測定できるため マッチングボックス以降のRF状態をチャンバ毎に管理することが可能。 ログデータや、簡易スペクトラム測定機能を利用することで、プロセス 成功時のRF状態把握、プロセス失敗の原因や解析を行うのにも貢献します。 【特長】 ■非50Ωラインにおける電流、電圧、位相角モニタで、RF実効電力及び スミスチャートによるインピーダンス解析 ■周波数スイープ機能を用いたスぺクトラム解析、高調波・ノイズ成分の解析 ■内蔵のトリガ機能により、アークやパルスの立ち上がりを見逃さず キャプチャ可能で、プロセス解析・良否判定に好適 ■オプションのタイムドメイン機能を使用、最大4レベルのパルス波形をモニタ ※詳しくは関連リンクページをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【測定機能】 ■トラッキングモード（パルス出力の測定も可能） ■スペクトラム測定モード ■タイムドメインモード（パルス波形モニタ機能） ※詳しくは関連リンクページをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯
納期
用途／実績例
【デモ事例】 ■チャンバ間差は存在するか ■マッチングボックスの損失 ※詳しくは関連リンクページをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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企業情報
丸文は、最先端の半導体や電子部品、電子応用機器を取り扱う「エレクトロニクス商社」です。 世界の約50拠点でグローバルな活動を展開し、3,000社を超えるお客様に対して、800社以上の仕入先の製品やサービスを提供しています。 事業は、デバイス事業、システム事業、ソリューション事業の3事業セグメント体制で推進しています。