ESC電源-2
信頼性の高い、長寿命のESC用高圧電源。
ESC 電源はシリコンウェハの静電吸着に用いるDC 電源です。 真空チャンバー内に高電圧を入力することにより、シリコンウェハと セラミックスプレートの間に静電引力を発生させます。 【特徴】 ■ HV 出力の極性反転 ■ プロセス中に発生するサージやアークからの保護 ■ 短絡・開放保護回路により信頼性が向上 ※詳細は添付PDFの参照、及びお気軽に弊社宛に直接お問い合わせ下さい。 047-369-3389
- 企業：株式会社P.R.A. 本社
- 価格：応相談
