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P.R.A.は「プラズマを作る周辺装置」を設計・制作・修理・アップグレードする企業です。プラズマにてお困りの際は、ご相談下さい。
■ 修理・アップグレード 各種電源、マッチングネットワーク、位相シフター、等の修理に対応します。又、経験・知識・実績に基づき、単なる故障箇所の修理に止まらず、使用部品の最適化など信頼性向上の提案・改善により高い評価を受けています。弊社での修理・アップグレード実績、及び主な対応周辺装置については、以下のリンクURLを参照願います:http://www.pra.jp/repair-upgrade ※ 見積や相談は、下記の電話番号か弊社Webサイト・リンクURL(お問い合わせフォーム)宛てに直接お問い合わせ下さい。 047-369-3389 http://www.pra.jp/contact
事業内容
■ 静電チャック用高圧電源 ESCとは? 半導体素子を作るシリコンウエハや液晶パネル用のガラス基板などを扱う際に、これらを装置の真空チャンバー内で吸着・固定させることが必要になります。この吸着力(プレート表面に現れる電荷の量)を発生・制御する機器が「高電圧電源(ESC: Electric Static Chuck)」です。 P.R.A.製ESC電源のメリット 半導体製造装置で使用されているESC用高電圧電源の殆どは海外製であり、テクニカル・アプリケーション、及びアフターサポートを含めた問題が顕在化しています。P.R.A.では、御客様個別の仕様に応じたデザイン&回路基板の設計段階から自社対応することで、問題点の改善、そして低コスト・短納期・長寿命を実現したESC電源を実現します。詳細情報・参考スペックは、以下弊社HP内のリンクURLを参照下さい:http://www.pra.jp/product/esc ※ 見積や相談は、下記の電話番号か弊社Webサイト・リンクURL宛てに直接お問い合わせ下さい。 047-369-3389 http://www.pra.jp/contact
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詳細情報
企業名 | 株式会社P.R.A. 本社 |
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従業員数 | 30名 |
連絡先 | 〒270-2231 千葉県松戸市稔台8-33-3地図で見る TEL:047-369-3389 FAX:047-369-3317 |
業種 | 産業用電気機器 |