既存の静電チャックへ対応できる様に設計され、極性反転機能と自動放電機能を搭載した電源。
『PHV シリーズESC 電源』は極性反転機能と自動放電機能があり、ウェーハのチャック解除特性を改善する電源です。既存の静電チャックへ対応できる様に設計され、小型軽量、更に蓄積エネルギーが低く電流制限が組み込まれている為、サージやアークからプロセスを保護します。又、Johnson-Rahbek及びクーロンタイプのESCアプリケーションの両方に適しています。 【特徴】 ■ 既存の静電チャック対応への設計 ■ 小型軽量 ■ 蓄積エネルギーが低い ■ 極性反転機能と自動放電機能付き ■ ウェーハのチャック解除特性を改善 ※詳細は添付PDFの参照、及びお気軽に弊社宛に直接お問い合わせ下さい。 047-369-3389
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基本情報
【ラインアップ(抜粋)】 ■ PHV-0110 ■ PHV-0110B ■ PHV-0205 ■ PHV-0110CT ■ PHV-0205CT ■ PHV-0303CT ※詳細は添付PDFの参照、及びお気軽に弊社宛に直接お問い合わせ下さい。 047-369-3389
価格帯
納期
用途／実績例
半導体製造プロセス(PVD,CVD,ETCH)でシリコンウェハを固定させる方法として広く利用されています。
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企業情報
■ 修理・アップグレード 各種電源、マッチングネットワーク、位相シフター、等の修理に対応します。又、経験・知識・実績に基づき、単なる故障箇所の修理に止まらず、使用部品の最適化など信頼性向上の提案・改善により高い評価を受けています。弊社での修理・アップグレード実績、及び主な対応周辺装置については、以下のリンクURLを参照願います：http://www.pra.jp/repair-upgrade ※ 見積や相談は、下記の電話番号か弊社Webサイト・リンクURL（お問い合わせフォーム）宛てに直接お問い合わせ下さい。 047-369-3389 http://www.pra.jp/contact