電離真空計 IG-D7A
測定範囲:9.9×10‒2~1×10‒7Paの電離真空計
多様な用途に対応可能な多機能、高精度の電離真空計です。外部からのコントロールをはじめ、通信機能、BCD 出力等オプション機能を充実させ、各種制御、FA 化に貢献します。
- 企業:佐藤真空株式会社
- 価格:応相談
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測定範囲:9.9×10‒2~1×10‒7Paの電離真空計
多様な用途に対応可能な多機能、高精度の電離真空計です。外部からのコントロールをはじめ、通信機能、BCD 出力等オプション機能を充実させ、各種制御、FA 化に貢献します。
測定範囲:2.7×10‒1~1.3×10‒5Paの電離真空計
自動電子電流制御回路、低ドリフト対数増幅回路を内蔵、大きく読み取りやすい表示部に対して外観は小型でシンプル、レンジ切替不要等簡単操作の電離真空計です。
圧力表示はデジタル、測定レンジ自動切換!ワイドレンジ電離真空計
『M-431HG』は、ミニチュアゲージ専用の真空計制御電源です。 入力電圧はワイド電圧。 外部入出力で、RS-232C通信機能を標準装備し、 CEマーキング、RoHSに対応しています。 自動化真空装置の圧力測定や、スパッタなどのプロセス圧力の測定、 制御などにご使用いただけます。 【特長】 ■外部入出力 ■RS-232C通信機能を標準装備 ■入力電圧はワイド電圧 ■CEマーキング、RoHS対応 ■耐熱温度80℃/250℃のケーブルもご用意 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
高感度な特殊安定回路を採用!多目的な用途に対応する標準的な電離真空計
『IVG-1AT/IVG-1BT』は、熱陰極型電離真空計で高温に熱せられた フィラメントより放出した熱電子がグリットで加速され、真空中の気体分子の 衝突によって圧力に比例したイオンができる原理を利用した電離真空計です。 「IVG-1AT」と 「IVG-1BT」では、ともに標準的な電離真空計。使用する 測定球が違うため測定範囲が違います。その他、リレー接点付きのタイプや、 直線・対数式タイプなどもご用意。 お客様のご要望に応じて改良も可能です。 【特長】 ■標準的な電離真空計 ■高感度な特殊安定回路を採用 ■常に安定した動作で信頼ある測定値を指示 ■フィラメントの保護回路を内蔵 ■外部制御信号等を搭載し、自動化制御装置など多目的な用途に対応 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
高真空~超高真空装置搭載に好適!最大4ヶのオプションボード取付け可能で機能拡張性に優れています
『M-833HG』は、ミニチュア B-A ゲージ専用のコントロールユニットです。 オプションにて、多用なゲージ、データ出力等に対応する拡張ボードを用意。 ミニチュア B-A ゲージと TC ゲージ(オプション)のコンビネーション及び、 ゲージの自動切替を行うオートフィラメントの搭載により、 大気圧~超高真空までの高精度な真空測定を実現出来ます。 【特長】 ■見やすい液晶表示形式 ■圧力及び、種々のメッセージが液晶にて表示 ■圧力レンジは自動切換 ■豊富な外部制御機能により完全な遠隔操作が可能 ■セットポイントを 2点標準装備 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
豊富な外部制御機能により完全な遠隔操作が可能!電源電圧は特注も対応いたします
『M-723HG、M-823HG、M-923HG』は、多様なゲージに対応する 豊富な拡張ボードを備えた一般的なB-A型電離真空計シリーズです。 真空装置のプロセスコントロールに必要な遠隔操作機能や APC(自動圧力制御)で有効なレンジホールド機能を標準装備。 「M-823HG」ではワイドレンジ B-A ゲージとサーモカップルゲージの コンビネーション及びゲージの自動切替を行うオートフィラメント機能の 搭載により大気圧から高真空領域までを1台で高精度にカバーします。 【特長】 ■圧力レンジは自動切換 ■圧力及び種々のメッセージが液晶表示 ■豊富な外部制御機能により完全な遠隔操作が可能 ■セットポイントを2点標準装備 ■記録計用出力として、D/A 出力を標準装備 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。