圧力表示はデジタル、測定レンジ自動切換！ワイドレンジ電離真空計
『M-431HG』は、ミニチュアゲージ専用の真空計制御電源です。 入力電圧はワイド電圧。 外部入出力で、RS-232C通信機能を標準装備し、 CEマーキング、RoHSに対応しています。 自動化真空装置の圧力測定や、スパッタなどのプロセス圧力の測定、 制御などにご使用いただけます。 【特長】 ■外部入出力 ■RS-232C通信機能を標準装備 ■入力電圧はワイド電圧 ■CEマーキング、RoHS対応 ■耐熱温度80℃/250℃のケーブルもご用意 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【仕様（抜粋）】 ■圧力表示範囲：0.01×10^-7～13.2×10^0Pa ■圧力表示：デジタル、測定レンジ自動切換 ■セットポイント：2点標準装備（ヒステリシス付き） ■通信機能：RS232C標準搭載（9600、4800、2400、1200bps） ■外形寸法（mm）：104W×99H×296D ■質量：1.2Kg ■消費電力：50VA AC90～240V 50/60Hz ■標準構成：真空計本体（測定球及び、ケーブルは構成品に含まれません） ■対応：CEマーキング、RoHS ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯
納期
用途／実績例
【用途】 ■自動化真空装置の圧力測定 ■スパッタなどのプロセス圧力の測定、制御 ■マルチチャンバシステムでの圧力測定 ■一般真空装置の圧力測定 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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企業情報
キヤノンアネルバは、1967年の設立以来、真空薄膜形成装置や 真空コンポーネントの開発生産会社として、高度な技術力が 求められる超高真空分野で研鑽を続けてまいりました。 また、グローバルに事業展開する企業として、キヤノングループが 掲げる「共生」の企業理念のもと、国際社会の発展に貢献することを 目指してまいります。 今後も、確かな技術力に基づいた 高付加価値製品作りに邁進し、 エレクトロニクスの発展の一役を担ってまいります。