非接触吸着盤『ノンコンタクト チャッキング』
極薄ウェーハも極薄ガラス基板も低ストレスで非接触固定！高精度非接触吸着盤
『ノンコンタクト チャッキング』は、流体静力学による安定した浮上特性と、 真空吸引による予圧効果で低ストレスと強力な把持力を両立した 非接触吸着盤です。 独自開発した非接触吸着技術採用で、空気消費を抑え、 優れた静音性を実現しました。 【特長】 ■安定した浮上特性 ■空気消費量が少ない ■優れた静音性 ■高精度 ■低ストレス ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：株式会社タンケンシールセーコウ
- 価格：応相談
