極薄ウェーハも極薄ガラス基板も低ストレスで非接触固定!高精度非接触吸着盤
『ノンコンタクト チャッキング』は、流体静力学による安定した浮上特性と、 真空吸引による予圧効果で低ストレスと強力な把持力を両立した 非接触吸着盤です。 独自開発した非接触吸着技術採用で、空気消費を抑え、 優れた静音性を実現しました。 【特長】 ■安定した浮上特性 ■空気消費量が少ない ■優れた静音性 ■高精度 ■低ストレス ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【その他特長】 ■隙間調整 ■強い把持力 ■クリーン ■第27回 大田区中小企業 新製品・新技術コンクール「最優秀賞」を受賞 ■第27回中小企業優秀新技術・新製品賞「中小企業庁長官賞」「産学官連携特別賞」を受賞 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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■会社沿革 当社は機械用カーボンの製造メーカー【炭素研究所】として1955年に創業いたしました。 緻密なカーボンやメカニカルシールを経て、微細で均一な気孔を持ったポーラスカーボンを開発し、【浮上搬送】の用途を中心とした各種製品を展開しています。 ■こんなお悩みを解決できます。 1、ワークが薄くてうまく搬送できない。⇒デリケートなワークを扱える製品が欲しい 2、搬送時の接触が原因でキズが発生する。⇒ワークにダメージ無く搬送できる製品が欲しい 3、搬送面、駆動部の摩耗による手間やがかさむ。⇒メンテナンスコストの削減をしたい。 ■ポーラスカーボンの特長 微細で均一な気孔を持った多孔質のカーボンです。多孔質を通じてエアを流出させることで強固な流体膜を成型することができます。流体膜によってフィルム等を浮上させ、デリケートなワークを優しくダメージ無く搬送することができます。 ワークの高機能化により、より薄くよりデリケートな搬送が求められる中で、まさに次世代の浮上搬送を可能にする素材です。