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高精度アクチュエータ - メーカー・企業と製品の一覧

高精度アクチュエータの製品一覧

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コンパクトで高荷重・高精度なアクチュエータ『CEMC』シリーズ

主軸にローラーネジを採用することで、更なる高荷重、高精度、高速運転を実現

当社が取り扱う、エバリックス社の『CEMC』シリーズは、主軸にローラースクリューを採用することで、コンパクトながら高荷重・高精度を実現します。 本製品はエバリックス社の中で『High performance actuator』と位置づけられており、空圧アクチュエータと比較して約90%もエネルギー消費を抑えられます。 またローラースクリューの特長を活かして従来より高加速、高速運転が可能になる為、CEMCシリーズを採用することでワークフローのダウンタイム削減が期待できます。 ※カタログは英語版です。  製品の詳細はお気軽にお問い合わせください。

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超高精度 ミリオンアクチュエータ:アイセル

ミリオンガイドを搭載し1μmの送り精度を実現した、アイセル独自の超高精度・高剛性の「ミリオンアクチュエータ」

高精度な幅広ローラの採用によりボールタイプと比べて10倍以上の高剛性を保ちながら低与圧化することで、転がり抵抗を極限まで抑え1μmの送り精度を実現したアクチュエータです。 高精度・高剛性なミリオンアクチュエータは、送り精度/たわみ量/繰り返し精度、3つの1µmを実現しています。

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  • その他半導体製造装置
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  • その他光学部品

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