【電子部品向け】高純度Hfターゲット
電子部品の誘電体膜に。高純度Hfターゲットで信頼性向上
電子部品業界において、誘電体膜の性能は製品の信頼性を左右する重要な要素です。特に、小型化が進む中で、薄膜の均一性、高純度、内部欠陥の無さが求められます。Hfターゲットは、これらの要求に応えることで、電子部品の性能向上に貢献します。 【活用シーン】 ・誘電体膜の形成 ・コンデンサ、メモリデバイス ・薄膜トランジスタ 【導入の効果】 ・高純度による誘電特性の向上 ・均一な膜厚による性能安定化 ・内部欠陥の排除による信頼性向上
- 企業:株式会社スパッタコア 本社
- 価格:応相談