CZウエハ エピ受託加工 SiGeエピウエハ 他
小ロットからの対応可能です。特殊なエピ、多層エピなどにも出来るだけ対応いたします。
「エピウエハ」 1. ディスクリートデバイス向けや IC powerデバイス向けに使用されております。 ＊直径: 100-200 mm ＊Epi層ドーパント: Boron 、Phosphorous ＊Epi層抵抗値: 0.01-500 Ω/cm ＊Epi厚: 1-150 um ＊Stacking fault: 10 /cm2 以下 ＊Thickness Uniformity: 1% ＊Resistivity Uniformity: 2.5%(抵抗0.1-20 Ohm.cm) / 3%(抵抗>20 Ohm.cm) ＊Min25枚より 「エピ受託加工」 1000ohm cmを超えるようなEpi抵抗の高いウエハや、Epi層が厚いウエハなども対応させていただきます。 仕様により多層エピ成膜なども対応可能です。 特 徴 ・実験用に小ロット（数枚～25枚）から可能 ・サブウエハご指定も可能（お客様よりサブウエハを支給していただく事も可能です） ・エピ厚さ公差：6-10%以内 (エピ厚さにより変わります） ・抵抗均一性公差：5-15%以内 (抵抗により変わります）
- 企業：株式会社エナテック 東京本社
- 価格：応相談
