『原子層蒸着(ALD)用バルブ』※性能テスト結果付き技術資料進呈
高速開閉、非常に優れたサイクル・ライフ。大流量や高温環境、腐食性流体に対応
スウェージロック社は、ALDバルブ技術で世界をリードする企業のひとつとして、 半導体デバイス製造アプリケーション向けのソリューションをお届けします。 【特長】 ○非常に優れたサイクル・ライフを実現する独自のデザイン ○高速の開閉機能 ○高温下でも安定した流量を実現 ○シール性能に優れ、膨潤やコンタミネーションへの耐性にも優れたシート 常識を覆すパフォーマンス「ALD 7 」 半導体メーカーのデバイスの歩留まり向上に欠かせない一貫性と耐久性のニーズに対応すべく、超高純度用ダイヤフラム・バルブ「ALD 7」 を製品ラインアップに追加しました。
- 企業:スウェージロック・ジャパン
 - 価格:応相談