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超高剛性×サブナノ分解能、過酷な環境下でも長寿命を実現
精密測定の分野では、ナノレベルの精度が求められる測定や、過酷な環境下での測定が不可欠です。温度変化や振動、真空環境下など、様々な外的要因が測定精度に影響を与えるため、安定した動作と高い耐久性が重要になります。PICMA(R)多層ピエゾアクチュエータ P-882・P-888は、これらの課題に対し、高い剛性と耐環境性能で応えます。 【活用シーン】 ・走査型プローブ顕微鏡（SPM） ・半導体製造装置 ・光学素子の精密位置決め 【導入の効果】 ・サブナノメートルの分解能による高精度な位置決め ・過酷な環境下での安定した動作 ・長寿命化によるメンテナンスコスト削減
ナノレベル位置決めを実現する高推力ピエゾアクチュエータ
光学機器のレンズ調整では、高精度な位置決めと安定した動作が求められます。特に光軸の微調整や焦点距離の制御では、わずかな位置ズレが画像品質や測定精度に大きく影響します。 P-235 ピエゾアクチュエータは、最大30,000Nの高推力と高い剛性を備えた高荷重対応ピエゾアクチュエータです。内部に歪みゲージセンサーを搭載したモデルではクローズドループ制御が可能で、ナノレベルの高精度位置決めを実現します。光学レンズ調整や干渉計測など、高精度な位置制御が求められる光学システムに適しています。 【活用シーン】 ・レンズの光軸調整 ・焦点距離の微調整 ・光学顕微鏡 ・干渉計 【導入の効果】 ・ナノレベルでの高精度な位置決め ・光学系の性能向上 ・実験・研究の効率化 ・高精度な測定の実現
