維持ピエゾアクチュエータ - メーカー・企業と業務用製品 | イプロスものづくり

長時間計測の位置再現性を維持するピエゾアクチュエータ

5nm分解能と無通電ロックにより、ウェーハ検査やナノ計測時の熱ドリフトを抑制

N-111は、PI独自のNEXLINEウォーキング技術を採用した組込み向けナノ位置決めアクチュエータです。 ・動作量：10 mm ・推力：50 N ・保持力：70 N（パッシブ無通電ロック） ・システム分解能：5nm　インクリメンタルリニアスケール ・オープンループ分解能：0.025nm ・速度：最大 1 mm/s（モードによる） ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。