多層ピエゾアクチュエータ - メーカー・企業と業務用製品 | イプロスものづくり

積層ピエゾアクチュエータ｜過酷環境でも位置再現性を維持

UHV対応・耐湿構造により、真空・高温環境下でもナノ位置決めと高速補正を安定化

PICMA(R)多層ピエゾアクチュエータ P-882・P-888は、セラミック絶縁構造により湿度や電解腐食に強く、温度安定性に優れています。 カスタムにより、最大200度までの耐高温度性を持たせたり、最大20 Aの大電流対応や、穴あき、円形、長方形など形状変更にも対応。 さらにUHV 10⁻⁹ hPa対応し、アウトガスがなく、高いベーク温度にも耐えられ、真空装置や極低温環境など過酷環境下でも動作。 多彩なサイズ・形状バリエーションに加え、カスタム仕様やセンサ内蔵型も選択可能です。 ※詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。