UHV対応・耐湿構造により、真空・高温環境下でもナノ位置決めと高速補正を安定化
PICMA(R)多層ピエゾアクチュエータ P-882・P-888は、セラミック絶縁構造により湿度や電解腐食に強く、温度安定性に優れています。 カスタムにより、最大200度までの耐高温度性を持たせたり、最大20 Aの大電流対応や、穴あき、円形、長方形など形状変更にも対応。 さらにUHV 10⁻⁹ hPa対応し、アウトガスがなく、高いベーク温度にも耐えられ、真空装置や極低温環境など過酷環境下でも動作。 多彩なサイズ・形状バリエーションに加え、カスタム仕様やセンサ内蔵型も選択可能です。 ※詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。
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基本情報
・過酷な環境でも驚異の長寿命 ・広範囲の動作温度範囲 ・優れた耐湿性 ・優れた温度安定性 ・超高剛性 ・ピーク電流～20A ・超高真空対応～10-9hPa ・サブミリセカンドの応答／サブナノメートルの分解能 ・ダイナミックアプリケーションに最適 ※詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。
価格情報
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納期
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用途／実績例
応用例 ・精密メカニクス／機械加工 ・高速スイッチング ・アクティブおよびアダプティブオプティクス ・アクティブ振動制御 ・空気圧／水圧バルブ ・各種計測／干渉計 ・ライフサイエンス、バイオテクノロジー ・ナノテクノロジー
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企業情報
Physik Instrumente（PI）は、ドイツ・カールスルーエに本社を置く精密位置決め技術のグローバルリーディングカンパニーです。産業オートメーション、フォトニクス、半導体、顕微鏡・ライフサイエンスなどの分野に向けて、高精度ポジショニングシステムおよびピエゾテクノロジーを提供しています。 50年以上にわたり、世界中の企業や研究機関に採用されており、欧州・北米・アジアに9つの生産拠点と16の営業・サービス拠点を展開。500件以上の特許を保有し、開発・製造・品質検査までを自社で一貫して行うことで、高い技術力と品質を支えています。 日本法人は30年以上にわたり国内で事業を展開しており、技術相談から導入サポートまで、日本のお客様のニーズに合わせた高精度モーションソリューションを提供しています。
