マスフローコントローラのメーカーや取扱い企業、製品情報、参考価格、ランキングをまとめています。
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マスフローコントローラ(制御) - メーカー・企業と製品の一覧

更新日: 集計期間:2025年08月13日~2025年09月09日
※当サイトの各ページの閲覧回数を元に算出したランキングです。

マスフローコントローラの製品一覧

16~30 件を表示 / 全 42 件

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マスフローコントローラ『1030/1050』

幅広い分野で使用可能!ガス種限定仕様ローコストマスフローコントローラ

『1030/1050』は、ガス種限定仕様のローコストマスフローコントローラです。 基本性能を追求した独自技術により、コストを抑え、製品の性能と 信頼性を高めています。 ガス種はAir・N2・Ar・H2・CO2・O2・Heに対応。医薬・培養・バイオ・ 農業・溶接・蒸着コーティング・分析・各種研究や実験など幅広い 分野でご使用頂けます。 【特長】 ■気体用低コスト流量制御機器 ■ローコスト&簡単操作 ■最大フルスケール流量:30 SLM・50SLM ■フローサージを抑制 ■流量設定/出力信号:0-5V ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

  • その他計測・記録・測定器
  • 流量制御
  • 計量制御

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1.0MPa高差圧、10KPa低差圧で使用可能なマスフロー

ワイドレンジの使用圧力に対応したマスフローコントローラ(MFC)。0.3秒以内の高速応答が可能です。大流量も制御可能!

産業用マスフローコントローラはビュルケルト! 各種産業毎に異なる、多様な仕様へ向けたマスフロー、他社仕様とは一線を画した各種スペックを誇るマスフローです。 圧力レンジ以外にも 【ビュルケルトの産業用マスフローは】 ●レンジアビリティ → 1:100の高精度 ●大流量 → 2500Nl/min (窒素換算) を一台で制御可能 ●暖気運転 → 1分でOK ●タイトシャット可能 → 電磁弁の費用とスペースを削減 【さらにIoT世代のマスフローとして】 ●各種通信規格に対応 EtherCAT EtherNet/IP Modbus/TCP PROFINET

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  • 流量制御

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週7日24時間サポート「ワールドワイドサポート」

ブロンコスト製品をお使いのお客様のためのサポートサービスです。24時間・週7日対応のサービスラインをご利用頂けます。

ブロンコスト製品をお使いのお客様のためのサービス体制です。全世界のサービス網により、夜間対応も可能です。

  • その他計測・記録・測定器
  • 流量計

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マスフローコントローラ『SEC-Z4400シリーズ』

幅広いプロセスや用途に対応!中古装置のリファブに好適です

当社では、RoHS指令・CEマーキング対応の、株式会社堀場エステック製 マスフローコントローラ『SEC-Z4400シリーズ』を取り扱っております。 接ガス部はメタル仕様となっており、ピエゾバルブも搭載。 また、SEC-7300・4400シリーズの継手サイズ・ピン配列との 互換を確保しています。 【特長】 ■リプレイス・アップグレード ■高性能・高信頼性 ■フレキシビリティ ■RoHS指令・CEマーキング対応 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お問い合わせください。

  • コントローラ

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MODEL 3200 SERIES

デッドボリューム低減!精度±1%F.S.のハイグレードマスフローコントローラをご紹介

『MODEL 3200 SERIES』は、N2換算でF.S.1SCCMからの微少流量に対応する ハイグレードマスフローコントローラです。 ダイヤフラムシートバルブによりデッドボリュームを低減。 対象流体はN2、Air、H2、He、Ar、O2、CO2等、最大流量は1SCCM~20SLM となっております。 【特長】 ■対象流体:気体 N2、Air、H2、He、Ar、O2、CO2 等 ■最大流量:気体 1SCCM~20SLM ■精度:±1%F.S. ■微少流量に対応(N2換算でF.S.1SCCMから) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

  • 流量計

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MODEL 5100 SERIES

デッドボリューム低減!最大流量1SCCM~20SLMのメタルシールマスフローコントローラ

『MODEL 5100 SERIES』は、N2換算でF.S.1SCCMからの微少流量に対応する メタルシールマスフローコントローラです。 ダイヤフラムシートバルブによりデッドボリュームを低減。 対象流体はN2、Air、H2、He、Ar、O2、CO2等、最大流量は1SCCM~20SLMと なっております。 【特長】 ■対象流体:気体 N2、Air、H2、He、Ar、O2、CO2等  ■最大流量:気体 1SCCM~20SLM ■精度:±1%F.S. ■微少流量に対応(N2換算でF.S.1SCCMから) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

  • 流量計

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マスフローコントローラ『Aera PI-980』

次世代PI技術!圧力の影響を受けにくいIGS方式対応のマスフローコントローラ

『Aera PI-980』は、次世代の半導体製造プロセスに対する需要拡大を 予期して開発されたプレッシャーインセンシティブタイプのマスフロー コントローラです。 優れた流量安定性により、チャンバ間のプロセス再現性が向上し、 生産歩留まりを改善します。 また、実ガスによる精度検証済みで、マルチガス・マルチレンジにも 対応します。 【特長】 ■プレッシャーインセンシティブ(圧力の影響を受けにくい)制御が可能 ■高い計測精度と再現性 ■IGS方式対応 ■実ガスによる精度検証済み、マルチガス・マルチレンジにも対応 ■フィールドでのプログラムが可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

  • バルブ

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ALICAT マスフローコントローラーMCEシリーズSEMI規格

SEMI規格対応バルブ内蔵タイプのALICAT社製のマスフローコントローラー。

『MCE/MCESシリーズ』は、SEMI規格対応バルブ内蔵タイプのALICAT(アリキャット)社製のマスフローコントローラーです。 ラミナーフロー方式(差圧式)により高速応答を実現。 精度の高い差圧センサーを搭載し、正確な流量を計測します。 【特長】 ■100msの制御応答 ■±(0.8% RD + 0.2% FS)の高い流量精度 ■10SCCMから20SLPMまでラインアップ ■アナログ出力、RS 232C通信を標準搭載 ■混合ガスにも対応 ■バックライト付き液晶表示器を標準搭載 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

  • その他計測・記録・測定器

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Aera FC-R7700シリーズ マスフローコントローラ

経済性に優れた高精度ラバーシール

半導体、FPD、データ記憶装置、産業用真空機器、工業用コーティング等の市場では、CVD、PVD、エッチング、イオン注入、スパッタリング、熱酸化膜、光学ガラスコーティング、光ファイバー、表面処理、その他のコーティングプロセスを含め、非腐食性ガスを使用したアプリケーションが展開されています。 FC-R7700シリーズは、高い信頼性と優れた性能でプロセスおよび装置エンジニアの業務の円滑化に対応いたします。

  • CVD装置
  • スパッタリング装置
  • エッチング装置

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ALICAT マスフローコントローラーMCVシリーズ (真空用)

MCV/MCVSシリーズ(真空用シャットオフバルブ搭載)のALICAT社製のマスフローコントローラー。

『MCV/MCVSシリーズ』は、真空用シャットオフバルブ搭載のALICAT(アリキャット)社製のマスフローコントローラーです。 ラミナーフロー方式(差圧式)により高速応答を実現。 精度の高い差圧センサーを搭載し、正確な流量を計測します。 【特長】 ■100msの制御応答 ■±(0.8% RD + 0.2% FS)の高い流量精度 ■10SCCMから20SLPMまでラインアップ ■アナログ出力、RS 232C通信を標準搭載 ■混合ガスにも対応 ■バックライト付き液晶表示器を標準搭載 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

  • その他計測・記録・測定器

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マスフローコントローラ トラブル事例集

マスフローコントローラのバルブ詰りなどのトラブル事例を掲載!

『マスフローコントローラ トラブル事例集』は、マスフローコントローラに関する 様々なトラブルの事象、原因、対応等の事例を掲載した事例集です。 【掲載事例】 ■マスフローコントローラのバルブ詰り ■マスフローへのオイル混入 ■マスフローのバルブ不具合 ■マスフローコントローラ 流量が出ない ■マスフローが流れにくい ほか 詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

  • 流量計
  • 流量制御
  • 校正・修理

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ALICAT マスフローコントローラーMCS(腐食性/冷媒対応)

混合ガスにも対応!アナログ出力、RS-232C通信・バックライト付き液晶表示器を標準搭載しています

『MCS/MCRSシリーズ』は、腐食性ガス/冷媒ガスを含め1台で128種類のガス流量の計測が可能なALICAT(アリキャット)社製のマスフローコントローラーです。 ラミナーフロー方式(差圧式)により高速応答を実現。 精度の高い差圧センサーを搭載し、正確な流量を計測します。 この他に、極めて小さな差圧で計測可能な「MWシリーズ」などもラインアップしています。 【特長】 ■100msの制御応答 ■±(0.8% RD + 0.2% FS)の高い流量精度 ■0.5SCCMから3000SLPMまでラインアップ ■アナログ出力、RS 232C通信を標準搭載 ■混合ガスにも対応 ■バックライト付き液晶表示器を標準搭載 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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ALICATマスフローコントローラーMCQシリーズ(高圧タイプ)

最大動作圧力は320PSIA(2.2MPaA)。 耐圧は400PSIA(2.7MPaA)。 混合ガスにも対応!

『MC/MCP/MCRシリーズ』は、1台で98種類の多種多様なガスに対応できるALICAT社(アリキャット)製の高圧タイプのマスフローコントローラーです。 ラミナーフロー方式(差圧式)により高速応答を実現。 精度の高い差圧センサーを搭載し、正確な流量を計測します。 この他に、腐食性ガス/冷媒ガスを含め128種類のガスに対応した 「MCHQS/MCRQSシリーズ」などのラインアップをご用意しています。 【特長】 ■100msの制御応答 ■±(0.8% RD + 0.2% FS)の高い流量精度 ■0.5SCCMから5000SLPMまでラインアップ ■アナログ出力、RS 232C通信を標準搭載 ■混合ガスにも対応 ■バックライト付き液晶表示器を標準搭載 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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マスフローコントローラ MODEL8700/3660SERIES

温度や圧力の影響を受けにくく、高精度な流量の計測や制御が可能! N2、Air、H2、He、Arなどの気体が対象。

当社で取り扱うマスフローコントローラ『MODEL 8700/3660 SERIES』をご紹介します。 表示器付マスフローコントローラ/メータ「MODEL 8700 SERIES」は、 アナログ入出力0-5VDC(4-20mAに変更可能)を有し、 各種機能(瞬時/積算流量表示、アラーム設定)を使用可能です。 スタンダードマスフローコントローラ「MODEL 3660 SERIES」は、 N2換算でF.S.10SCCMからF.S.100SLMまで幅広い流量レンジに対応します。 【特長】 ■対象流体:気体 N2、Air、H2、He、Ar、O2、CO2等 ■最大流量:気体 10SCCM~100SLM ■精度:±1~1.5%F.S. ■幅広い流量レンジに対応(N2換算でF.S.10SCCMからF.S.100SLMまで) ■アナログ入出力は表示器にて変更可能(MODEL 8700 SERIES) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

  • その他計測・記録・測定器

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ALICATマスフローコントローラーMCシリーズ(納期4週間)

混合ガスにも対応!アナログ出力、RS-232C通信・バックライト付き液晶表示器を標準搭載しています。現在納期4週間。

『MC/MCP/MCRシリーズ』は、1台で98種類の多種多様なガスに対応できるALICAT社(アリキャット)製のマスフローコントローラーです。 ラミナーフロー方式(差圧式)により高速応答を実現。 精度の高い差圧センサーを搭載し、正確な流量を計測します。 この他に、腐食性ガス/冷媒ガスを含め128種類のガスに対応した 「MCS/MCRSシリーズ」や「MCW/MCRWシリーズ」「MCV/MCVSシリーズ」 などのラインアップをご用意しています。 【特長】 ■100msの制御応答 ■±(0.8% RD + 0.2% FS)の高い流量精度 ■0.5SCCMから5000SLPMまでラインアップ ■アナログ出力、RS 232C通信を標準搭載 ■混合ガスにも対応 ■バックライト付き液晶表示器を標準搭載 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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