更新日： 集計期間:2025年10月08日～2025年11月04日
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優れた価格性能比！納期が8週間という非常に魅力的な製品です
『SFC6000D-20slm』は、非常に小さくて軽いため、デバイスの サイズと重量を最適化できるマスフローコントローラーです。 集積化が進み、使用する電子部品数が非常に少ないため、 サプライチェーンは堅牢。 さらに、再現性、精度、制御範囲、速度の点で優れた パフォーマンスを発揮します。 【特長】 ■優れた価格性能比 ■納期が8週間 ■非常に小さくて軽いため、デバイスのサイズと重量を最適化可能 ■再現性、精度、制御範囲、速度の点で優れたパフォーマンスを発揮 ■使用する電子部品数が非常に少ないため、サプライチェーンは堅牢 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
幅広い分野で使用可能！ガス種限定仕様ローコストマスフローコントローラ
『1030/1050』は、ガス種限定仕様のローコストマスフローコントローラです。 基本性能を追求した独自技術により、コストを抑え、製品の性能と 信頼性を高めています。 ガス種はAir・N2・Ar・H2・CO2・O2・Heに対応。医薬・培養・バイオ・ 農業・溶接・蒸着コーティング・分析・各種研究や実験など幅広い 分野でご使用頂けます。 【特長】 ■気体用低コスト流量制御機器 ■ローコスト＆簡単操作 ■最大フルスケール流量：30 SLM・50SLM ■フローサージを抑制 ■流量設定／出力信号：0-5V ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
熱式流量センサ制御方式を採用した、流量制御機器です。
更なるトータルコストダウンとリードタイムの短縮を実現した デジタルインターフェース搭載、マスフローコントローラー 【特徴】 ○高精度 流量精度±1％を実現 ○高性能センサ 低温度流量センサの採用で、反応性の高いガス及び 安定性の低いガスに最適構造を実現 ○高信頼性ダイヤフラムバルブで少ない接ガス面積・パーティクル発生の防止 高速応答ピエゾアクチュエータを採用 デットスペースフリー構造によるガス置換特性の大幅向上 パーティクル発生 極少 ○デジタルインターフェース標準装備 RS485 ○RoHS対応 ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
使用する電子部品数が非常に少ないため、サプライチェーンは堅牢です！半導体・分析機器・医療機器用
『SFC6000D-5slm』は、優れた価格性能比と納期が8週間という 非常に魅力的なマスフローコントローラーです。 小さくて軽いため、デバイスのサイズと重量を最適化でき、 特にポータブルデバイスにとって決定的な利点に。 さらに、再現性、精度、制御範囲、速度の点で優れた パフォーマンスを発揮します。 【特長】 ■優れた価格性能比 ■納期が8週間 ■非常に小さくて軽いため、デバイスのサイズと重量を最適化可能 ■再現性、精度、制御範囲、速度の点で優れたパフォーマンスを発揮 ■使用する電子部品数が非常に少ないため、サプライチェーンは堅牢 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
8週間という短納期でサンプルが入手可能！サプライチェーンは堅牢です
『SFC6000D-50slm』は、再現性、精度、制御範囲、速度の点で 優れたパフォーマンスを発揮するマスフローコントローラーです。 優れた価格性能比と納期が8週間という短納期でサンプルが 入手できる非常に魅力的な製品。 また、非常に小さくて軽いため、デバイスのサイズと重量を最適化でき、 特にポータブルデバイスにとって決定的な利点となります。 【特長】 ■優れた価格性能比 ■納期が8週間 ■非常に小さくて軽いため、デバイスのサイズと重量を最適化可能 ■再現性、精度、制御範囲、速度の点で優れたパフォーマンスを発揮 ■使用する電子部品数が非常に少ないため、サプライチェーンは堅牢 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
デバイス1台でさまざまなガスと流量に対応し、柔軟な対応を実現しました！
『GF40シリーズ』は、当社独自のMultiFloテクノロジーを搭載したサーマル式のマスフロー コントローラ/メータです。 さまざまなガスを使用する場合、ガスの種類を頻繁に変更する場合、制御精度は維持したまま、 フルスケールレンジを変更する必要のあるシステムやプロセスに好適です。 MultiFloテクノロジーは、比類のない柔軟性を提供します。 1台のデバイスで、数千パターンの異なるガス・流量範囲の組み合わせに対応しています。 【特長】 ■専用のソフトウェアで設定変更が可能な、マルチガス/マルチレンジ機能 ■エラストマシールのオプションが豊富ため、さまざまなガスに対応 ■長期安定性に優れたハステロイ製センサを採用 ■実ガス試験に基づく100種類以上のガスデータを搭載 ■負荷の高いアプリケーションでも、1秒未満の応答時間とセットポイント ±1%の制御精度を実現 ※詳しくは関連リンクページをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
ワイドレンジの使用圧力に対応したマスフローコントローラ(MFC)。0.3秒以内の高速応答が可能です。大流量も制御可能！
産業用マスフローコントローラはビュルケルト！ 各種産業毎に異なる、多様な仕様へ向けたマスフロー、他社仕様とは一線を画した各種スペックを誇るマスフローです。 圧力レンジ以外にも 【ビュルケルトの産業用マスフローは】 ●レンジアビリティ → 1:100の高精度 ●大流量 → 2500Nl/min (窒素換算) を一台で制御可能 ●暖気運転 → 1分でＯＫ ●タイトシャット可能 → 電磁弁の費用とスペースを削減 【さらにIoT世代のマスフローとして】 ●各種通信規格に対応 EtherCAT EtherNet/IP Modbus/TCP PROFINET
幅広いプロセスや用途に対応！中古装置のリファブに好適です
当社では、RoHS指令・CEマーキング対応の、株式会社堀場エステック製 マスフローコントローラ『SEC-Z4400シリーズ』を取り扱っております。 接ガス部はメタル仕様となっており、ピエゾバルブも搭載。 また、SEC-7300・4400シリーズの継手サイズ・ピン配列との 互換を確保しています。 【特長】 ■リプレイス・アップグレード ■高性能・高信頼性 ■フレキシビリティ ■RoHS指令・CEマーキング対応 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お問い合わせください。
デッドボリューム低減！精度±1％F.S.のハイグレードマスフローコントローラをご紹介
『MODEL 3200 SERIES』は、N2換算でF.S.1SCCMからの微少流量に対応する ハイグレードマスフローコントローラです。 ダイヤフラムシートバルブによりデッドボリュームを低減。 対象流体はN2、Air、H2、He、Ar、O2、CO2等、最大流量は1SCCM～20SLM となっております。 【特長】 ■対象流体：気体 N2、Air、H2、He、Ar、O2、CO2 等 ■最大流量：気体 1SCCM～20SLM ■精度：±1％F.S. ■微少流量に対応（N2換算でF.S.1SCCMから） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
デッドボリューム低減！最大流量1SCCM～20SLMのメタルシールマスフローコントローラ
『MODEL 5100 SERIES』は、N2換算でF.S.1SCCMからの微少流量に対応する メタルシールマスフローコントローラです。 ダイヤフラムシートバルブによりデッドボリュームを低減。 対象流体はN2、Air、H2、He、Ar、O2、CO2等、最大流量は1SCCM～20SLMと なっております。 【特長】 ■対象流体：気体 N2、Air、H2、He、Ar、O2、CO2等 ■最大流量：気体 1SCCM～20SLM ■精度：±1％F.S. ■微少流量に対応（N2換算でF.S.1SCCMから） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
次世代PI技術！圧力の影響を受けにくいIGS方式対応のマスフローコントローラ
『Aera PI-980』は、次世代の半導体製造プロセスに対する需要拡大を 予期して開発されたプレッシャーインセンシティブタイプのマスフロー コントローラです。 優れた流量安定性により、チャンバ間のプロセス再現性が向上し、 生産歩留まりを改善します。 また、実ガスによる精度検証済みで、マルチガス・マルチレンジにも 対応します。 【特長】 ■プレッシャーインセンシティブ（圧力の影響を受けにくい）制御が可能 ■高い計測精度と再現性 ■IGS方式対応 ■実ガスによる精度検証済み、マルチガス・マルチレンジにも対応 ■フィールドでのプログラムが可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
流量センサ、バイパス、バルブ、電気回路で構成！幅広い分野で使用されています
当製品は、流体の体積または質量流量を測定して流量を制御する機器です。 主に流量センサ、バイパス、バルブ、電気回路で構成。精度が高く、 様々なガスに対応し必要な流量設定を行うことができるため、化学工場、 半導体工場、宇宙関係など、幅広い分野で使用されています。 ご用命の際は、当社へお気軽にお問い合わせください。 【種類】 ■体積流量計 ■質量流量計 ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
SEMI規格対応バルブ内蔵タイプのALICAT社製のマスフローコントローラー。
『MCE/MCESシリーズ』は、SEMI規格対応バルブ内蔵タイプのALICAT(アリキャット)社製のマスフローコントローラーです。 ラミナーフロー方式（差圧式）により高速応答を実現。 精度の高い差圧センサーを搭載し、正確な流量を計測します。 【特長】 ■100msの制御応答 ■±（0.8% RD + 0.2% FS）の高い流量精度 ■10SCCMから20SLPMまでラインアップ ■アナログ出力、RS 232C通信を標準搭載 ■混合ガスにも対応 ■バックライト付き液晶表示器を標準搭載 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
複数のガス校正と交換可能な継手を組み合わせた！医療、分析、産業の環境での幅広い用途に
『SFC5500-50sccm』は、マイクロサーマル測定原理に基づいた マスフローコントローラーです。 実績のあるCMOSens MEMS技術を活用。ドリフトすることがなく、市場で 再校正する必要がありません。 また、実現出来る幅広い流量制御範囲によって、一台の製品で複数の 流量範囲に対応できます。 【仕様(一部)】 ■フルスケール流量：0.05slm ■フルスケール流量：50sccm ■精度：0.2％FS or 2％ SP ■最高使用圧力：10bar ■キャリブレーション：Air,O2,N2,Ar,CO2,He,H2,CH4 and N2O flow ■流体コネクタポート：Legris ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
経済性に優れた高精度ラバーシール
半導体、FPD、データ記憶装置、産業用真空機器、工業用コーティング等の市場では、CVD、PVD、エッチング、イオン注入、スパッタリング、熱酸化膜、光学ガラスコーティング、光ファイバー、表面処理、その他のコーティングプロセスを含め、非腐食性ガスを使用したアプリケーションが展開されています。 FC-R7700シリーズは、高い信頼性と優れた性能でプロセスおよび装置エンジニアの業務の円滑化に対応いたします。
