株式会社フジキン『マスフローコントローラ』
フジキンのFCSは、ながれ(流体)制御技術を常にリードします！
フジキンのFCSシリーズは、さまざまな産業でご利用いただける「ガスの流量制御機器」です。FCSシリーズでは、FCS-Pressure(圧力制御方式)シリーズと、FCS-Thermal(熱式流量センサ制御方式)シリーズの制御方式の異なる2種類の製品ラインアップを取り揃えております。
マスフローコントローラ(制御) - メーカー・企業と業務用製品 | イプロスものづくり
更新日： 集計期間:2026年09月16日～2026年10月13日
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マスフローコントローラの製品一覧
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【選定ガイド】CCUS・メタネーション・合成燃料
CO₂・H₂を反応条件どおりに供給。研究から実証・生産設備までの流量制御を解説
CCUS・メタネーション・合成燃料の研究開発では、CO₂やH₂などの原料ガスを、設定した反応条件に合わせて安定供給することが重要です。さらに研究から実証・生産設備へ進むにつれて、必要な流量レンジや圧力・温度、流体、設置環境も変化します。 原料ガス供給、混合・希釈、触媒反応、温度・圧力条件試験、パイロット設備、液体原料供給など、各工程における流量制御のポイントを整理。用途・条件に応じたマスフローコントローラ／メータの選定方法と、AMF・SLA5800・SLAMf・QMCの使い分けをご紹介します。研究・評価設備の新規設計や、実証・生産設備へのスケールアップ時の製品選定にぜひご活用ください。 ■ このような課題をお持ちの方へ - CO₂・H₂の混合比率の安定化 - 触媒評価・反応試験の再現性向上 - 複数ガスを使用する評価設備の流量制御 - 高圧・高温など厳しい条件への対応 - 液体原料・反応液の高精度制御 - 研究から実証設備へのスケールアップ
- 企業：ITWジャパン株式会社
- 価格：応相談
【新製品】AMFシリーズ（小型マスフローコントローラ/メータ）
環境・バイオ・材料プロセスの液体流体管理を、非接液監視と高精度コリオリ、さらにソフトウェア活用で支援
コンパクト設計と高精度制御を両立。装置の小型化・高性能化に貢献 AMFシリーズは、限られた設置スペースでも高精度な流量制御を実現する小型マスフローコントローラ／メータです。 優れた応答性と安定した流量制御により、研究開発から製造装置まで幅広いアプリケーションに対応。装置の省スペース化や設計自由度の向上に貢献します。 ■ 導入メリット コンパクト設計による装置設計の自由度向上 高精度・高応答な流量制御 装置の小型化・軽量化 安定したプロセス制御による品質向上 ■ 主な用途 分析・計測機器 研究開発設備 OEM装置 バイオ・ライフサイエンス分野 一般産業用ガス供給システム Brooks Instrumentは、精密流体計測・制御分野で70年以上にわたり培った技術と豊富な実績をもとに、お客様の用途やプロセスに最適なソリューションを提供しています。小型化・高性能化が求められる装置開発においても、高品質な製品と充実した技術サポートでお客様を支援します。 ※詳しくは関連リンクページをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：ITWジャパン株式会社
- 価格：応相談
GFシリーズ製品比較／選定ガイド
環境・エネルギープロセスに最適なガス流量制御を実現
CO₂利用技術や排ガス処理、燃料評価などの環境・エネルギー分野では、用途に応じた高精度なガス流量制御が求められます。 GFシリーズは、多ガス・多レンジ評価から高純度ガス、高温プロセスまで幅広い用途に対応。プロセス条件に応じて最適なモデルを選択でき、研究開発から生産工程まで安定した流量制御を実現します。 [GF40] MultiFlo対応／多ガス・多レンジ評価向け □ 研究開発・評価試験に最適 □ 1台で複数ガス・複数レンジに対応 □ 開発期間の短縮と設備効率向上に貢献 [GF100] MultiFlo対応／高純度・多条件プロセス向け □ 高純度ガスプロセスに対応 □ 幅広いプロセス条件で高精度制御 □ 半導体・研究開発用途にも最適 [GF120xHT] 高温・耐腐食プロセス向け □ 高温ガス供給に対応 □ 耐腐食性に優れた設計 □ 過酷なプロセス環境でも安定した流量制御を実現 ※詳しくはPDF資料をご覧ください。お問い合わせもお待ちしております。
- 企業：ITWジャパン株式会社
- 価格：応相談
Type8626マスフローコントローラ
素早く設定流量に安定させる、気体用マスフローコントローラです。
高速応答（最速0.5秒以内）で高精度の流量センサと、豊富なラインナップを取り揃えた流量制御弁（比例電磁弁）を組み合わせ、高性能を実現したマスフローコントローラ／マスフローメータです。 本製品Type8626は、最大1500L/minまで制御可能な、大流量用のマスフローコントローラです。 保護等級 IP 65 取得機種です。
- 企業：ビュルケルトジャパン株式会社
- 価格：10万円 ~ 50万円
エフコン株式会社 会社案内
生産装置への搭載、研究・開発など幅広い分野に対応！流量制御はお任せください！
エフコン株式会社は、マスフローコントローラをはじめとする 流量制御機器の製造メーカーです。 マスフローコントローラとは、ガスや液体の質量流量を計測し流量制御を 行う機器であり、高精度な流量計測・制御を求められるプロセスには 欠かせないものですが、高価な製品であるため、限られた分野でしか 使用されておりませんでした。 当社のマスフローコントローラは、基本性能を追求した独自技術により 低価格を実現した製品です。一般産業での使用、各種生産装置への搭載、 研究・開発など幅広い分野でご使用いただけます。 【事業内容】 ■流量制御機器の設計・製造・販売 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：エフコン株式会社 本社
- 価格：応相談
コフロック株式会社
気体・液体の計測・制御のことなら
お客様のニーズに合わせた一品一様のものづくりで、流体計測制御機器を製造・販売しています。半導体製造工程向けに開発した圧力変動に強いマスフローコントローラST-500や、液温変化時にも高精度な流量計測が可能なカルマン渦流量計FML-300を出展します。精密流量制御の技術力と、多様な産業・研究用途に対応する柔軟性が弊社の強みです。
- 企業：京都ビジネス交流フェア2026
- 価格：応相談
ブルックスインスツルメント「ガス流量制御」ラインアップ
脱脱炭素・環境技術の開発を支える、高精度ガス流量制御ソリューション
CO₂削減技術や排ガス処理、代替燃料の研究開発など、環境・エネルギー分野では用途に応じた高精度なガス流量制御が求められます。ブルックスインスツルメントは、研究開発から実証試験、生産プロセスまで、各ステージに最適なマスフローコントローラ／メータをご用意。アプリケーションやプロセス条件に応じて最適な製品をご提案します。 ■ このような用途・課題に CO₂削減・CCUS技術の研究開発 排ガス処理・環境負荷低減 触媒評価・反応プロセス開発 代替燃料・合成燃料の研究開発 燃料電池・水素関連プロセス 炉・熱処理・材料プロセスのガス流量制御 ※詳しくは関連カタログをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：ITWジャパン株式会社
- 価格：応相談
フローコントロールシステム(マスフロー)『FCS-P』
超高純度用、圧力制御方式を採用した、 流量制御機器です。
圧力を制御することにより、従来のマスフローコントローラーでは実現できない 高精度な流量制御を可能にした、フローコントロールシステム 【特徴】 ○シンプルでデットスペースレスな構造 ○優れた圧力変動特性 上流の圧力が変動しても出力値が変動しないため 上流側に取り付ける事が可能。またレギュレータをガスシステムから省く事ができ ガスシステムのコストダウンと小型化を同時に達成 ○フローファクターの採用 様々なガス種に対応可能 ○優れた精度 ○流量自己診断機能の搭載 ○すばやい応答性 ○マウントポジションフリー ○デバイスネット通信にも対応 ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
GCシリーズ 選定・仕様相談ガイド｜研究開発・小型装置向け
研究開発・小型装置の ガス流量制御を、もっとコンパクトに
研究開発・小型装置向けマスフローコントローラ 小型化と高精度制御を両立。研究開発から環境・エネルギー分野まで幅広く対応。 GCシリーズは、MEMSセンサを採用した超小型マスフローコントローラです。限られた設置スペースでも高精度・高速応答・優れた再現性を実現し、分析装置や研究開発設備、小型OEM装置などの設計自由度を高めます。 ■ このような課題をお持ちの方へ ・装置の小型化・軽量化 ・限られたスペースへの高性能流量制御機器の組み込み ・評価試験・実験における流量制御の高精度化・再現性向上 ・複数ガスの安定した流量制御 ・既存MFCの小型・低消費電力モデルへの置き換え ※詳しくはカタログをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：ITWジャパン株式会社
- 価格：応相談
脱炭素・環境対応技術の開発を支える超小型MFC「GCシリーズ」
小流量域での高い再現性と省スペース化を両立。CO₂削減、排ガス処理、代替燃料評価など研究開発を支える超小型マスフローコントローラ
化学・素材・エネルギー分野の研究開発では、CO₂削減、排ガス処理、代替燃料評価など、環境対応技術の開発が進んでいます。GCシリーズは、こうした用途で求められる小流量域での高い再現性と、省スペースで安定したガス制御を両立する、MEMS式の超小型マスフローコントローラです。 Air、N₂、O₂、CO₂、Ar、CO、CH₄、C₃H₈、N₂O等に対応し、フルスケール流量210～5000sccm（Air換算）、100:1の制御レンジ、±0.25% S.P.の再現性、応答時間は2秒以下（設定値がフルスケールの10%超の場合）を備えています。ラボ装置、小型試験装置、分析設備などに適しており、環境技術の開発を支えるガス制御技術として活用できます。
- 企業：ITWジャパン株式会社
- 価格：応相談
【選定ガイド】EtherNet/IP対応流量機器
流量機器を、設備の「情報」へ。 配線・立ち上げ・監視・保守をもっとシンプルに。
設備のデジタル化が進むなか、流量機器にも「流量値を伝える」だけでなく、機器状態や診断情報を設備ネットワーク上で活用することが求められています。 Brooks InstrumentのEtherNet/IP対応流量機器なら、PLC／DCSなどの制御システムとネットワーク接続し、流量値に加えて、設定値・積算流量・温度・バルブ駆動・アラーム・診断情報などを取得可能。個別のアナログ配線を減らし、装置設計から立ち上げ、運用・保守までの効率化を支援します。 ■ このような課題をお持ちの方へ - 流量機器ごとのアナログ配線の削減 - PLC／DCSとの接続・装置設計の簡素化 - 流量値以外の機器情報の取得 - 装置立ち上げ・設定作業の効率化 - 機器状態の可視化とトラブル切り分け - 設備保守・メンテナンス業務の効率化
- 企業：ITWジャパン株式会社
- 価格：応相談
マスフローコントローラー、Alicat社
100msの制御応答、±(0.8% RD + 0.2% FS) の高い流量精度、アナログ出力、RS-232C通信を標準搭載
★ラミナーフロー方式(差圧式)により高速応答を実現。 ★流量変化にすばやく追従。高速制御応答により希望の流量を短時間で得ることができます。 ★流量設定はフロントスイッチ操作のほか、アナログ入力、 RS-232C通信による設定も可能です。 ★質量流量 0-5VDC 出力を標準搭載。0-10VDC、1-5VDC、4-20mADCのご指定も可能です。また追加でアナログ第2出力も可能です。 ★微少の 0.5SCCM タイプから大流量の 5000SLPM タイプまで幅広くラインナップ。 ★混合ガスを含め98種類のガスが1台で制御が可能です。ガスの選択はフロントのスイッチ操作で簡単に行えます。 詳しくはお問い合わせいただくかカタログをダウンロードください。
マスフローコントローラ EL-FLOW Classic
OEMに最適。コスト低減と多様な用途における柔軟性を追求した、アナログI/O専用サーマル式デジタルマスフローコントローラ
EL-FLOW Classicシリーズ デジタルマスフローコントローラは、ブロンコストの最新技術を盛り込みつつ、流量測定・制御という基本的な機能に特化して価格を抑えたモデルです。 アナログI/O対応(デジタル通信非対応)、標準ガス(Air, N2, H2, O2, He, Ar, CO, CO2, N2O, CH4)向けのみのラインナップとし、納期を短くしています。 詳しくはカタログをご覧になるか、お問合せ下さい。
- 企業：ブロンコスト・ジャパン株式会社
- 価格：応相談
マスフローコントローラ/メータ『GF40シリーズ』など2製品
1台のデバイスで複数のガスに対応するマスフローコントローラ/メータ。最大4台まで接続できるコンパクトなリードアウトユニットも紹介
『GF40シリーズ』は、1台で複数のガスに対応し プロセスの柔軟性と生産性を向上できるマスフローコントローラ/メータです。 メーカー独自の「MultiFloテクノロジー」を搭載し 高精度な流量制御や測定が可能で、多様なガスを使用するシステムに好適。 頻繁にガスの種類を変更する場合や、測定と制御精度を維持しつつ 範囲を再調整する必要のあるプロセス・施設で活躍します。 また、『0254』は電源供給とアナログ制御の機能に加え RS232シリアルポートを搭載したリードアウトユニットです。 RoHS指令に準拠し、ユーザーフレンドリーな操作性を提供。 多様なアプリケーションに簡単にインストールできる取付方法のオプションがあり 最大4台のBrooksマスフローまたは圧力デバイスに電力を供給します。 【特長】 ◎『GF40シリーズ』 ■豊富な実ガスデータを搭載 ■ガス種と流量レンジを変更できるため、1台で多様な研究テーマに対応可能 ◎『0254』 ■流量設定は瞬時制御とバッチ制御、流量表示は瞬時と積算に対応 ■省スペースで最大4台のマスフローコントローラ/メータを接続可能
- 企業：ITWジャパン株式会社
- 価格：応相談
【低流量・低差圧】0.1ml/mから対応可能なマスフロー
0.1mL/minの超微小流量から20L/minまで、高精度にガス流量を制御
ビュルケルトのマスフローコントローラ Type 8733は、0.1 mL/minの超微小流量から最大20 L/minまで対応するコンパクトなMFCです。高精度な質量流量計測と比例制御により、微小なガス流量を安定して制御します。センサー・制御部・比例弁をコンパクトなボディに集約しており、分析装置や計測・検査装置の小型化・高密度化に貢献。Modbus RTUによるデジタル通信にも対応し、キャリアガス、校正ガス、半導体検査、材料評価、研究・ラボ設備など幅広い用途に適しています。
- 企業：ビュルケルトジャパン株式会社
- 価格：応相談
mini CORI-FLOW マスフローコントローラ（流量計）
センサー応答が高速のため、高速制御が可能になったマスフローコントローラ
「mini CORI-FLOW(R) マスフローコントローラ（流量計）」は、高安定制御出力、高速応答の特徴を有しています。 センサー応答が高速(50…200msec)のため、高速制御が可能になりました。 従って例えば、分給等へのアプリケーションが期待できます。 【特長】 ○本体直結調節弁 ○高速応答 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
- 企業：ブロンコスト・ジャパン株式会社
- 価格：応相談
マスフローコントローラー『1000シリーズ』
スタート時のオーバーシュートを抑制！低価格の高性能ガス流量制御器
『1000シリーズ』は、マスフローコントローラーの基本機能に特化した アナログ低価格モデルの高性能ガス流量制御器です。 各種分析・成膜・理化学などの実験研究・製造用途など幅広い分野で ご使用頂けます。 また、流量設定と表示のみのシンプル設計で操作が簡単な表示設定器付 専用電源「PA01」もご用意しております。 【特長】 ■低価格 ■コンパクトサイズ ■スタート時のオーバーシュートを抑制 ■バルブ型式：ノーマルオープン ■流量制御範囲：5～100％F.S. ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：株式会社グリーンテック 大阪本社
- 価格：応相談
気体・液体用マスフローコントローラ＜真空・圧力計測と制御＞
薄膜、コーティング、表面処理は、幅広い産業とアプリケーションをカバーしています！
産業用や民生用の製品の表面には、その仕上がりを最適化させるためにコーティングを施すことがあります。例えば、切削工具の耐摩耗性、ガラスの耐傷性、板ガラスの熱特性、住宅設備機器の美観などを向上させることが可能です。 化学蒸着、物理蒸着、プラズマ処理プロセス、溶射など、コーテイングの手法はさまざまですが、製造工程の最終段階として行われることが多いようです。 ブルックスインスツルメントのマスフロー、真空、圧力測定および制御装置は、PVDおよびCVDプロセスアプリケーションをカバーしています。また、当社の製品は、熱処理やプラズマ処理プロセスなどの表面処理アプリケーションにも適しています。 【特長】 ■再現性の高い、高精度なガス供給 ■優れた品質、正確な厚み、膜厚の均一性 ■長期にわたる安定したプロセス制御 ■高機能な現場での流量診断とトレンド解析で、プロセスの歩留まりを最大化 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：ITWジャパン株式会社
- 価格：応相談
ALICAT マスフローコントローラー MCD（デュアルバルブ）
バルブ2基搭載し双方向制御が可能。加圧や負圧、真空引きでの制御が行えます。腐食性ガスや低圧力損失対応モデル有。納期6-8週間。
『MCD/MCDSシリーズ』は、1台で98種類の多種多様なガスに対応できるALICAT社(アリキャット)製のマスフローコントローラーです。 ラミナーフロー方式（差圧式）により高速応答を実現。 精度の高い差圧センサーを搭載し、正確な流量を計測します。 この他に、腐食性ガス／冷媒ガスを含め128種類のガスに対応した 「MCDSシリーズ」や「MCDWシリーズ」などのラインアップをご用意しています。 【特長】 ■100msの制御応答 ■±（0.8% RD + 0.2% FS）の高い流量精度 ■0.5SCCMから5000SLPMまでラインアップ ■アナログ出力、RS 232C通信を標準搭載 ■混合ガスにも対応 ■バックライト付き液晶表示器を標準搭載 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：日本スターテクノ株式会社
- 価格：応相談
マスフローコントローラ『Type GM51A』
ユーザーインタフェース内蔵によりレンジとガス種を簡単に変更でき在庫を削減！
『Type GM51A』は、幅広い用途に適した1.125"（28.6mm）幅メタルシール、 N2換算フルスケール5sccm～50slmのマスフローコントローラです。 実績のある特許取得熱センサとデザインに、デジタルフロー制御 エレクトロニクスを組み合わせました。 MKS制御アルゴリズムを使ったデジタル制御エレクトロニクスにより、流量 セットポイントに対し標準応答時間500msecと高速で再現性の高い応答をします。 多彩なガス種にN2換算フルスケール5sccm～50slmのマルチレンジで使用可能。 100種以上のガスおよび混合ガスのパラメータが既にメモリ登録されています。 電解研磨仕上げメタルシールにより、高純度プロセス用途に適しています。 【特長】 ■特許取得済みのサーマルセンサ設計による優れたゼロ安定性 ■セットポイント1%(校正ガス)の高精度で正確なプロセスコントロール ■ユーザーインタフェース内蔵 ■レンジとガス種を簡単に変更でき在庫を削減 ■in-situで機器監視、データ収集可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：日本エム・ケー・エス株式会社
- 価格：応相談
高性能マスフローコントローラ MC-3000L series
当社独自の自己温度補正方式（米国、日本特許）のセンサを採用した高性能デジタルマスフローコントローラです
独自の特許技術で1.0％S.P.の高精度を実現し、各種面実装規格（1.125インチ）に対応したデジタルマスフローコントローラです。 【特長】 ○高性能1.125インチサイズ・デジタルマスフローコントローラ (ピエゾバルブ、高精度(S.P.保証）、デジタル制御） ○アナログマスフローコントローラとの互換性を維持 ○汎用インターフェースRS485が使用可能 ○標準でメタルシール、内面精密研磨のウルトラクリーン仕様 ○SEMI STD.の各種面実装に対応 ※その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
- 企業：株式会社リンテック 東京営業所
- 価格：10万円 ~ 50万円
マスフローコントローラ/メータ『5850Eシリーズ』
長期安定性に優れ、生産の的確性を維持！信頼性、精度、繰り返し性の高い測定と制御を行います
『5850Eシリーズ』は、エラストマシールサーマル式マスフローコントローラ/メータです。 数十年に渡って、世界中の数千種類ものアプリケーションでアクティブに使用された実績を持つ本シリーズは、独自の安定した流量センサを備え、現代の要求の厳しい工業生産プロセスに必要な信頼性、精度、繰り返し性の高い測定と制御を行います。 【特長】 ■取り外し可能な流量センサ ■取付姿勢の影響なし ■他のマスフローコントローラとの機械的/電気的互換性 ■電動式バルブオーバーライド ■耐腐食バルブ ※詳しくは関連リンクページをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：ITWジャパン株式会社
- 価格：応相談
フローコントロールシステム(マスフロー)『FCS-T』
熱式流量センサ制御方式を採用した、流量制御機器です。
更なるトータルコストダウンとリードタイムの短縮を実現した デジタルインターフェース搭載、マスフローコントローラー 【特徴】 ○高精度 流量精度±1％を実現 ○高性能センサ 低温度流量センサの採用で、反応性の高いガス及び 安定性の低いガスに最適構造を実現 ○高信頼性ダイヤフラムバルブで少ない接ガス面積・パーティクル発生の防止 高速応答ピエゾアクチュエータを採用 デットスペースフリー構造によるガス置換特性の大幅向上 パーティクル発生 極少 ○デジタルインターフェース標準装備 RS485 ○RoHS対応 ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
マスフローコントローラー『SFC6000D-5slm』
使用する電子部品数が非常に少ないため、サプライチェーンは堅牢です！半導体・分析機器・医療機器用
『SFC6000D-5slm』は、優れた価格性能比と納期が8週間という 非常に魅力的なマスフローコントローラーです。 小さくて軽いため、デバイスのサイズと重量を最適化でき、 特にポータブルデバイスにとって決定的な利点に。 さらに、再現性、精度、制御範囲、速度の点で優れた パフォーマンスを発揮します。 【特長】 ■優れた価格性能比 ■納期が8週間 ■非常に小さくて軽いため、デバイスのサイズと重量を最適化可能 ■再現性、精度、制御範囲、速度の点で優れたパフォーマンスを発揮 ■使用する電子部品数が非常に少ないため、サプライチェーンは堅牢 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
- 企業：センシリオン株式会社
- 価格：応相談
マスフローコントローラー『SFC6000D-20slm』
優れた価格性能比！納期が8週間という非常に魅力的な製品です
『SFC6000D-20slm』は、非常に小さくて軽いため、デバイスの サイズと重量を最適化できるマスフローコントローラーです。 集積化が進み、使用する電子部品数が非常に少ないため、 サプライチェーンは堅牢。 さらに、再現性、精度、制御範囲、速度の点で優れた パフォーマンスを発揮します。 【特長】 ■優れた価格性能比 ■納期が8週間 ■非常に小さくて軽いため、デバイスのサイズと重量を最適化可能 ■再現性、精度、制御範囲、速度の点で優れたパフォーマンスを発揮 ■使用する電子部品数が非常に少ないため、サプライチェーンは堅牢 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
- 企業：センシリオン株式会社
- 価格：応相談
マスフローコントローラ『1030/1050』
幅広い分野で使用可能！ガス種限定仕様ローコストマスフローコントローラ
『1030/1050』は、ガス種限定仕様のローコストマスフローコントローラです。 基本性能を追求した独自技術により、コストを抑え、製品の性能と 信頼性を高めています。 ガス種はAir・N2・Ar・H2・CO2・O2・Heに対応。医薬・培養・バイオ・ 農業・溶接・蒸着コーティング・分析・各種研究や実験など幅広い 分野でご使用頂けます。 【特長】 ■気体用低コスト流量制御機器 ■ローコスト＆簡単操作 ■最大フルスケール流量：30 SLM・50SLM ■フローサージを抑制 ■流量設定／出力信号：0-5V ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：エフコン株式会社 本社
- 価格：応相談
マスフローコントローラー『SFC6000D-50slm』
8週間という短納期でサンプルが入手可能！サプライチェーンは堅牢です
『SFC6000D-50slm』は、再現性、精度、制御範囲、速度の点で 優れたパフォーマンスを発揮するマスフローコントローラーです。 優れた価格性能比と納期が8週間という短納期でサンプルが 入手できる非常に魅力的な製品。 また、非常に小さくて軽いため、デバイスのサイズと重量を最適化でき、 特にポータブルデバイスにとって決定的な利点となります。 【特長】 ■優れた価格性能比 ■納期が8週間 ■非常に小さくて軽いため、デバイスのサイズと重量を最適化可能 ■再現性、精度、制御範囲、速度の点で優れたパフォーマンスを発揮 ■使用する電子部品数が非常に少ないため、サプライチェーンは堅牢 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
- 企業：センシリオン株式会社
- 価格：応相談
ALICAT マスフローコントローラーMCS（腐食性／冷媒ガス）
高速応答・高速制御を実現！混合ガス対応！アナログ出力、RS-232C通信・バックライト付き液晶表示器を標準搭載。納期6-8週間。
『MCS/MCRSシリーズ』は、腐食性ガス／冷媒ガスを含め1台で128種類のガス流量の計測が可能なALICAT(アリキャット)社製のマスフローコントローラーです。 ラミナーフロー方式（差圧式）により高速応答を実現。 精度の高い差圧センサーを搭載し、正確な流量を計測します。 この他に、極めて小さな差圧で計測可能な「MWシリーズ」などもラインアップしています。 【特長】 ■100msの制御応答 ■±（0.8% RD + 0.2% FS）の高い流量精度 ■0.5SCCMから3000SLPMまでラインアップ ■アナログ出力、RS 232C通信を標準搭載 ■混合ガスにも対応 ■バックライト付き液晶表示器を標準搭載 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：日本スターテクノ株式会社
- 価格：応相談
エネルギー革新における精密制御の実現＜アプリケーション事例紹介＞
持続可能な未来を支える「ソリューション」
水素、燃料電池、CCUS、バイオ燃料、CNT製造。未来のエネルギーを支える現場には、正確な流れを見守る技術があります。ブルックスインスツルメントの流量計が、エネルギートランジションを支えます。 カーボンニュートラルの研究開発に役立つ、ガスの制御・測定機能を備えたサーマルマスフローコントローラ/メータ「SLA5800シリーズ」や、厳しい設置環境でも高い再現性と長期安定性を実現するエラストマシールサーマル式マスフローコントローラ/メータ「SLAMfシリーズ」などをラインアップ。 ISO/IEC17025認定校正が、次世代エネルギープロセスに求められる再現性を確かな基準で実現します。 【SLA5800シリーズ 特長】 ■DEKRAより、国内防爆(JPEx)の型式検定合格証を取得済 (対応品：マスフローコントローラ/メータ、プレッシャーコントローラ) ■化学・石油化学・燃料電池・ライフサイエンスなどの分野でも活躍 ■広範囲をカバーする流量レンジ ■1台で複数のガス・流量レンジに対応可能 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
- 企業：ITWジャパン株式会社
- 価格：応相談
マスフローコントローラの関連カテゴリ
- デジタルマスフローコントローラ
- 液体マスフローコントローラ
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- 腐食性ガス用マスフローコントローラ
- ETHERCAT対応マスフローコントローラ
