研究開発・小型装置の ガス流量制御を、もっとコンパクトに
研究開発・小型装置向けマスフローコントローラ 小型化と高精度制御を両立。研究開発から環境・エネルギー分野まで幅広く対応。 GCシリーズは、MEMSセンサを採用した超小型マスフローコントローラです。限られた設置スペースでも高精度・高速応答・優れた再現性を実現し、分析装置や研究開発設備、小型OEM装置などの設計自由度を高めます。 ■ このような課題をお持ちの方へ ・装置の小型化・軽量化 ・限られたスペースへの高性能流量制御機器の組み込み ・評価試験・実験における流量制御の高精度化・再現性向上 ・複数ガスの安定した流量制御 ・既存MFCの小型・低消費電力モデルへの置き換え ※詳しくはカタログをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
■ GCシリーズの特長 ・超小型・省スペース設計で装置の小型化・高密度化に貢献 ・MEMSセンサ採用による高精度・高速応答・優れた再現性 ・研究開発から環境・エネルギー分野まで幅広い用途に対応 ・複数ガスの安定した流量制御を実現 ・OEM装置への組み込みにも最適 ※詳しくはカタログをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯
納期
用途／実績例
■ 主な用途 ・分析装置 ・研究開発設備 ・環境・エネルギー関連機器 ・OEM装置への組み込み Brooks Instrumentは、精密流体計測・制御分野で70年以上の実績を有しています。豊富な製品ラインアップと専門技術により、お客様の用途や装置仕様に最適なマスフローコントローラをご提案し、装置開発から量産までサポートします。 ※詳しくはカタログをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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企業情報
当社は、重工業、石油・ガス精製、化学や石油化学の研究、薬品薬剤や生物医薬品の生産、また、太陽電池、LED、薄膜、光ファイバー、半導体の製造装置など、さまざまな分野でご利用いただく製品をご提供しております。 プロセスの制御、正確な測定を行える環境設定に貢献することで、お客様側のプロセスの精度が高まり、常にお客様が競争力を発揮できるよう寄り添い切磋琢磨しながら、ビジネスの発展と成長を遂げてまいりました。 ご要望の際は、お気軽にご相談ください。
