更新日： 集計期間:2025年11月19日～2025年12月16日
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【ポンプシステム 事例2】超臨界ガス計測と制御
超臨界付近の流体；炭酸ガス(CO2)やエチレン(C2H4)等の計測は容易ではありません。 例えば炭酸ガスCO2は温度が20℃以上、圧力が約30baraぐらいになりますと臨海域にはいります。 このような条件では、温度、圧力変化の結果として物理特性；密度や比熱が急激に変化します。 従って、これらの流体をサーマル式で計測するのは非常に困難になります。 「Mini CORI-FLOW(R)」は物理的特性に関係なく真のマスフロー計測ですので、これらの問題を一気に解決してくれます。 【適用例】 ○流体がガス状、液状又はそれらの端境であっても、分子そのものの質量を計測 ○この測定原理は高精密で安定測定を提供してくれることをフィールドで認証済み 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
1台のデバイスで複数のガスに対応するマスフローコントローラ/メータ。最大4台まで接続できるコンパクトなリードアウトユニットも紹介
『GF40シリーズ』は、1台で複数のガスに対応し プロセスの柔軟性と生産性を向上できるマスフローコントローラ/メータです。 メーカー独自の「MultiFloテクノロジー」を搭載し 高精度な流量制御や測定が可能で、多様なガスを使用するシステムに好適。 頻繁にガスの種類を変更する場合や、測定と制御精度を維持しつつ 範囲を再調整する必要のあるプロセス・施設で活躍します。 また、『0254』は電源供給とアナログ制御の機能に加え RS232シリアルポートを搭載したリードアウトユニットです。 RoHS指令に準拠し、ユーザーフレンドリーな操作性を提供。 多様なアプリケーションに簡単にインストールできる取付方法のオプションがあり 最大4台のBrooksマスフローまたは圧力デバイスに電力を供給します。 【特長】 ◎『GF40シリーズ』 ■豊富な実ガスデータを搭載 ■ガス種と流量レンジを変更できるため、1台で多様な研究テーマに対応可能 ◎『0254』 ■流量設定は瞬時制御とバッチ制御、流量表示は瞬時と積算に対応 ■省スペースで最大4台のマスフローコントローラ/メータを接続可能
大量生産のコストに厳しいOEMプロジェクト向けMFCをご紹介！
『SFC5300』は、優れた精度、長期安定性、再現性で質量流量を測定 および制御することができるマスフローコントローラーです。 コンパクトなサイズにもかかわらず広いダイナミックレンジで測定でき、 本体ボディーは金属製。 また、当製品の流体接続にはダウンマウント接続を、インターフェースには 2つのデジタルインターフェイスを用意しています。 【仕様(一部)】 ■フルスケール流量：1, 2, 5 and 10 slm ■フルスケール流量：50, 100, 200 and 500 sccm ■精度：0.2％FS or 2％ SP ■最高使用圧力：10 bar ■キャリブレーション：Air,O2,N2,Ar,CO2,He,H2,CH4,N2O,SF6 and C4F8 flow ■流体コネクタポート：Downmount ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
長期安定性に優れ、生産の的確性を維持！信頼性、精度、繰り返し性の高い測定と制御を行います
『5850Eシリーズ』は、エラストマシールサーマル式マスフローコントローラ/メータです。 数十年に渡って、世界中の数千種類ものアプリケーションでアクティブに使用された実績を持つ本シリーズは、独自の安定した流量センサを備え、現代の要求の厳しい工業生産プロセスに必要な信頼性、精度、繰り返し性の高い測定と制御を行います。 【特長】 ■取り外し可能な流量センサ ■取付姿勢の影響なし ■他のマスフローコントローラとの機械的/電気的互換性 ■電動式バルブオーバーライド ■耐腐食バルブ ※詳しくは関連リンクページをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
本体ボディーは金属製！バルブのないバージョンもご用意しております
『SFC5400』は、様々なインターフェースと様々な流体接続ができる 多用途マスフローコントローラーです。 50sccm～200slmの最大流量を測定でき、センサー信号は、チップ上で校正、 温度補償されたデジタル信号に直接変換。 また、複数のガス校正データを1つのデバイスに保存でき、動作中の ガス校正値が、測定している実際のガスと一致するかどうかをチェックする こともできます。 【仕様(一部)】 ■フルスケール流量：1, 2, 5, 10, 20, 50 and 100 slm ■フルスケール流量：50, 100, 200 and 500 sccm ■精度：0.08％ FS or 0.8％ SP ■最高使用圧力：5bar ■キャリブレーション：Air,O2,N2,Ar,CO2,He,H2,CH4,N2O,SF6 and C4F8 flow ■流体コネクタポート：Swagelock, VCO, VCR, Downmount ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
幅広いプロセスや用途に対応！中古装置のリファブに好適です
当社では、RoHS指令・CEマーキング対応の、株式会社堀場エステック製 マスフローコントローラ『SEC-Z4400シリーズ』を取り扱っております。 接ガス部はメタル仕様となっており、ピエゾバルブも搭載。 また、SEC-7300・4400シリーズの継手サイズ・ピン配列との 互換を確保しています。 【特長】 ■リプレイス・アップグレード ■高性能・高信頼性 ■フレキシビリティ ■RoHS指令・CEマーキング対応 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お問い合わせください。
OEMに最適。コスト低減と多様な用途における柔軟性を追求した、アナログI/O専用サーマル式デジタルマスフローコントローラ
EL-FLOW Classicシリーズ デジタルマスフローコントローラは、ブロンコストの最新技術を盛り込みつつ、流量測定・制御という基本的な機能に特化して価格を抑えたモデルです。 アナログI/O対応(デジタル通信非対応)、標準ガス(Air, N2, H2, O2, He, Ar, CO, CO2, N2O, CH4)向けのみのラインナップとし、納期を短くしています。 詳しくはカタログをご覧になるか、お問合せ下さい。
圧力制御を自動化し、圧力/背圧レギュレータとして使用できます！
オートプレッシャーコントローラ『SLA/SLAMfシリーズ』は、豊富なオプションと機能を備えています。 SLA/SLAMfシリーズ マスフローコントローラおよびメータと組み合わせることで、シングルプラットフォームの利点である、制御（プロセス）に一貫性を持たせることができます。 SLA/SLAMfシリーズは、国際標準にトレーサブルな一次流量校正システムを使用しており、当社の優れた計測システムおよび手法に基づき、高精度、ゼロ点の長期安定性、優れた再現性を特徴としています。
流量センサ、バイパス、バルブ、電気回路で構成！幅広い分野で使用されています
当製品は、流体の体積または質量流量を測定して流量を制御する機器です。 主に流量センサ、バイパス、バルブ、電気回路で構成。精度が高く、 様々なガスに対応し必要な流量設定を行うことができるため、化学工場、 半導体工場、宇宙関係など、幅広い分野で使用されています。 ご用命の際は、当社へお気軽にお問い合わせください。 【種類】 ■体積流量計 ■質量流量計 ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
ビュルケルトのコリオリ式計測原理の液体MFC（マスフローコントローラ）は10～280g/minの液体流量を計測・コントロール可能
ビュルケルトのコリオリMFC（液体マスフローコントローラ）は、10～280g/minの液体流量を計測・コントロールします。 市場にある液体用マスフローコントローラと比べ、より大きな流量をコントロールいただくことが可能です。
複数のガス校正と交換可能な継手を組み合わせた！医療、分析、産業の環境での幅広い用途に
『SFC5500-50sccm』は、マイクロサーマル測定原理に基づいた マスフローコントローラーです。 実績のあるCMOSens MEMS技術を活用。ドリフトすることがなく、市場で 再校正する必要がありません。 また、実現出来る幅広い流量制御範囲によって、一台の製品で複数の 流量範囲に対応できます。 【仕様(一部)】 ■フルスケール流量：0.05slm ■フルスケール流量：50sccm ■精度：0.2％FS or 2％ SP ■最高使用圧力：10bar ■キャリブレーション：Air,O2,N2,Ar,CO2,He,H2,CH4 and N2O flow ■流体コネクタポート：Legris ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
優れた精度、長期的な安定性、再現性！卓越した性能を実現しています
『SFC5330』は、コンパクトサイズでありながら、ダイナミックな 測定範囲を実現するマスフローコントローラーです。 「SFC5300」の小型版で、コスト重視の大量生産OEMプロジェクトに好適。 また、バルブレスタイプもご用意しており、同じ性能特性を備え、用途も 類似しているため、組み合わせてお使いいただけます。 【仕様(一部)】 ■フルスケール流量：1, 2 and 5 slm ■フルスケール流量：50, 100, 200 and 500 sccm ■精度：0.2％FS or 2％ SP ■最高使用圧力：10bar ■キャリブレーション：Air,O2,N2,Ar,CO2,He,H2,CH4,N2O,SF6 and C4F8 flow ■流体コネクタポート：Downmount ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
ガスフローの精密制御において当社が歩んできた20年間の実績の集大成！
『SFC5500-0.5slm』は、複数のガス校正と交換可能な継手を組み合わせた マスフローコントローラーです。 当製品は、マイクロサーマル測定原理に基づいており、当社の実績のある CMOSens MEMS技術を活用。 また、市場に出ている他製品とは異なり、ドリフトすることがなく、 市場で再校正する必要がありません。 【仕様(一部)】 ■フルスケール流量：0.5slm ■フルスケール流量：500sccm ■精度：0.08％ FS or 0.8％ SP ■最高使用圧力：5bar ■キャリブレーション：Air,O2,N2,Ar,CO2,He,H2,CH4 and N2O flow ■流体コネクタポート：Legris ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
幅広い分野で使用可能！ガス種限定仕様ローコストマスフローコントローラ
『1030/1050』は、ガス種限定仕様のローコストマスフローコントローラです。 基本性能を追求した独自技術により、コストを抑え、製品の性能と 信頼性を高めています。 ガス種はAir・N2・Ar・H2・CO2・O2・Heに対応。医薬・培養・バイオ・ 農業・溶接・蒸着コーティング・分析・各種研究や実験など幅広い 分野でご使用頂けます。 【特長】 ■気体用低コスト流量制御機器 ■ローコスト＆簡単操作 ■最大フルスケール流量：30 SLM・50SLM ■フローサージを抑制 ■流量設定／出力信号：0-5V ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
スピード重視のフロープロセス向けの超高速応答！幅広い種類の非腐食性ガスに適しています
『4800シリーズ』は、応答時間が向上するに従って、プロセスの効率と生産性 も向上するエラストマシールサーマル式マスフローコントローラ/メータです。 高度なMEMS式サーマルセンサは、コントロールバルブへの応答に最適化された 専用のPIDアルゴリズムを搭載し、セットポイントを任意に変更した場合でも、 当製品は実流量を高速で追従させることができます。 【特長】 ■流量応答時間（セトリングタイム） 0.75秒以下 ■革新的MEMSセンサおよび専用PIDアルゴリズム ■通常のサーマル式MFCの半分で、コンパクトなサイズ ■RS-232によるデジタル対応 ■オプションのローカルオペレーターインターフェース（LOI）で セットアップと操作を合理化 ※詳しくは関連リンクページをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
