更新日： 集計期間:2025年03月26日～2025年04月22日
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幅広いプロセスや用途に対応！中古装置のリファブに好適です
当社では、RoHS指令・CEマーキング対応の、株式会社堀場エステック製 マスフローコントローラ『SEC-Z4400シリーズ』を取り扱っております。 接ガス部はメタル仕様となっており、ピエゾバルブも搭載。 また、SEC-7300・4400シリーズの継手サイズ・ピン配列との 互換を確保しています。 【特長】 ■リプレイス・アップグレード ■高性能・高信頼性 ■フレキシビリティ ■RoHS指令・CEマーキング対応 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お問い合わせください。
8週間という短納期でサンプルが入手可能！サプライチェーンは堅牢です
『SFC6000D-50slm』は、再現性、精度、制御範囲、速度の点で 優れたパフォーマンスを発揮するマスフローコントローラーです。 優れた価格性能比と納期が8週間という短納期でサンプルが 入手できる非常に魅力的な製品。 また、非常に小さくて軽いため、デバイスのサイズと重量を最適化でき、 特にポータブルデバイスにとって決定的な利点となります。 【特長】 ■優れた価格性能比 ■納期が8週間 ■非常に小さくて軽いため、デバイスのサイズと重量を最適化可能 ■再現性、精度、制御範囲、速度の点で優れたパフォーマンスを発揮 ■使用する電子部品数が非常に少ないため、サプライチェーンは堅牢 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
大量生産のコストに厳しいOEMプロジェクト向けMFCをご紹介！
『SFC5300』は、優れた精度、長期安定性、再現性で質量流量を測定 および制御することができるマスフローコントローラーです。 コンパクトなサイズにもかかわらず広いダイナミックレンジで測定でき、 本体ボディーは金属製。 また、当製品の流体接続にはダウンマウント接続を、インターフェースには 2つのデジタルインターフェイスを用意しています。 【仕様(一部)】 ■フルスケール流量：1 2 5 and 10 slm ■フルスケール流量：50 100 200 and 500 sccm ■精度：0.2％FS or 2％ SP ■最高使用圧力：10 bar ■キャリブレーション：Air O2 N2 Ar CO2 He H2 CH4 N2O SF6 and C4F8 flow ■流体コネクタポート：Downmount ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
優れた精度、長期的な安定性、再現性！卓越した性能を実現しています
『SFC5330』は、コンパクトサイズでありながら、ダイナミックな 測定範囲を実現するマスフローコントローラーです。 「SFC5300」の小型版で、コスト重視の大量生産OEMプロジェクトに好適。 また、バルブレスタイプもご用意しており、同じ性能特性を備え、用途も 類似しているため、組み合わせてお使いいただけます。 【仕様(一部)】 ■フルスケール流量：1 2 and 5 slm ■フルスケール流量：50 100 200 and 500 sccm ■精度：0.2％FS or 2％ SP ■最高使用圧力：10bar ■キャリブレーション：Air O2 N2 Ar CO2 He H2 CH4 N2O SF6 and C4F8 flow ■流体コネクタポート：Downmount ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
本体ボディーは金属製！バルブのないバージョンもご用意しております
『SFC5400』は、様々なインターフェースと様々な流体接続ができる 多用途マスフローコントローラーです。 50sccm～200slmの最大流量を測定でき、センサー信号は、チップ上で校正、 温度補償されたデジタル信号に直接変換。 また、複数のガス校正データを1つのデバイスに保存でき、動作中の ガス校正値が、測定している実際のガスと一致するかどうかをチェックする こともできます。 【仕様(一部)】 ■フルスケール流量：1 2 5 10 20 50 and 100 slm ■フルスケール流量：50 100 200 and 500 sccm ■精度：0.08％ FS or 0.8％ SP ■最高使用圧力：5bar ■キャリブレーション：Air O2 N2 Ar CO2 He H2 CH4 N2O SF6 and C4F8 flow ■流体コネクタポート：Swagelock VCO VCR Downmount ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
CMOSens MEMS技術を活用！幅広い用途に適した標準品として入手可能
『SFC5500-2slm』は、ドリフトすることがなく、市場で再校正する 必要がないマスフローコントローラーです。 複数のガス校正と交換可能な継手を組み合わせており、幅広い用途に 適した標準品として入手可能。 また、医療、分析、産業の環境での幅広い用途に適しており、標準的な 設定済みのバリエーションからお選びいただけます。 【仕様(一部)】 ■フルスケール流量：2 slm ■フルスケール流量：2000 sccm ■精度：0.08％ FS or 0.8％ SP ■最高使用圧力：8bar ■キャリブレーション：Air O2 N2 Ar CO2 He H2 CH4 and N2O flow ■流体コネクタポート：Legris ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
ガスフローの精密制御において当社が歩んできた20年間の実績の集大成！
『SFC5500-0.5slm』は、複数のガス校正と交換可能な継手を組み合わせた マスフローコントローラーです。 当製品は、マイクロサーマル測定原理に基づいており、当社の実績のある CMOSens MEMS技術を活用。 また、市場に出ている他製品とは異なり、ドリフトすることがなく、 市場で再校正する必要がありません。 【仕様(一部)】 ■フルスケール流量：0.5slm ■フルスケール流量：500sccm ■精度：0.08％ FS or 0.8％ SP ■最高使用圧力：5bar ■キャリブレーション：Air O2 N2 Ar CO2 He H2 CH4 and N2O flow ■流体コネクタポート：Legris ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
CMOSens MEMS技術を活用！医療、分析、産業の環境での幅広い用途に好適
『SFC5500-200slm』は、一台の製品で複数の流量範囲に対応できる マスフローコントローラーです。 複数のガス校正と交換可能な継手を組み合わせ手織り、幅広い用途に適した 標準品として入手することが可能。 また、ドリフトすることがなく、市場で再校正する必要がありません。 ご用命の際は、お気軽に当社までお問い合わせください。 【仕様(一部)】 ■フルスケール流量：200slm ■フルスケール流量：200000sccm ■精度：0.08％ FS or 0.8％ SP ■最高使用圧力：5bar ■キャリブレーション：Air O2 and N2 flow ■流体コネクタポート：Legris ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
流量センサ、バイパス、バルブ、電気回路で構成！幅広い分野で使用されています
当製品は、流体の体積または質量流量を測定して流量を制御する機器です。 主に流量センサ、バイパス、バルブ、電気回路で構成。精度が高く、 様々なガスに対応し必要な流量設定を行うことができるため、化学工場、 半導体工場、宇宙関係など、幅広い分野で使用されています。 ご用命の際は、当社へお気軽にお問い合わせください。 【種類】 ■体積流量計 ■質量流量計 ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
使用する電子部品数が非常に少ないため、サプライチェーンは堅牢です！
『SFC6000D-5slm』は、優れた価格性能比と納期が8週間という 非常に魅力的なマスフローコントローラーです。 小さくて軽いため、デバイスのサイズと重量を最適化でき、 特にポータブルデバイスにとって決定的な利点に。 さらに、再現性、精度、制御範囲、速度の点で優れた パフォーマンスを発揮します。 【特長】 ■優れた価格性能比 ■納期が8週間 ■非常に小さくて軽いため、デバイスのサイズと重量を最適化可能 ■再現性、精度、制御範囲、速度の点で優れたパフォーマンスを発揮 ■使用する電子部品数が非常に少ないため、サプライチェーンは堅牢 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
優れた価格性能比！納期が8週間という非常に魅力的な製品です
『SFC6000D-20slm』は、非常に小さくて軽いため、デバイスの サイズと重量を最適化できるマスフローコントローラーです。 集積化が進み、使用する電子部品数が非常に少ないため、 サプライチェーンは堅牢。 さらに、再現性、精度、制御範囲、速度の点で優れた パフォーマンスを発揮します。 【特長】 ■優れた価格性能比 ■納期が8週間 ■非常に小さくて軽いため、デバイスのサイズと重量を最適化可能 ■再現性、精度、制御範囲、速度の点で優れたパフォーマンスを発揮 ■使用する電子部品数が非常に少ないため、サプライチェーンは堅牢 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
複数のガス校正と交換可能な継手を組み合わせた！医療、分析、産業の環境での幅広い用途に
『SFC5500-50sccm』は、マイクロサーマル測定原理に基づいた マスフローコントローラーです。 実績のあるCMOSens MEMS技術を活用。ドリフトすることがなく、市場で 再校正する必要がありません。 また、実現出来る幅広い流量制御範囲によって、一台の製品で複数の 流量範囲に対応できます。 【仕様(一部)】 ■フルスケール流量：0.05slm ■フルスケール流量：50sccm ■精度：0.2％FS or 2％ SP ■最高使用圧力：10bar ■キャリブレーション：Air O2 N2 Ar CO2 He H2 CH4 and N2O flow ■流体コネクタポート：Legris ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
フルスケール流量は10slm！複数のガス校正と交換可能な継手を組み合わせたシリーズ
『SFC5500-10slm』は、幅広い用途に適した標準品として入手可能な マスフローコントローラーです。 本製品は「SFC5400」と同等の上位パフォーマンスを誇るため、医療、分析、 産業の環境での幅広い用途に好適。 また、一台の製品で従来のマスフローコントローラーの複数の流量範囲に 対応できます。 【仕様(一部)】 ■フルスケール流量：10slm ■フルスケール流量：10000sccm ■精度：0.08％ FS or 0.8％ SP ■最高使用圧力：5bar ■キャリブレーション：Air O2 N2 Ar CO2 He H2 CH4 and N2O flow ■流体コネクタポート：Legris ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
