枚葉式半導体ウエハの洗浄装置例
メガチューブ＆スポット型シャワーを使用した両面洗浄、表面洗浄とエッジの同時洗浄装置
メガチューブとスポットシャワーを半導体ウエハの枚用装置に搭載しました。 チャンパー内の狭いスペースにも振動子２台の設置が可能で、表面と裏面・エッジを同時に高清浄度に洗浄することが可能です。 ※以下で動画を確認いただけます。
- 企業：株式会社カイジョー ODM事業部
- 価格：応相談
半導体ウェハ洗浄機 - メーカー・企業と製品の一覧
半導体ウェハ洗浄機の製品一覧
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バッジ式半導体ウエハの洗浄装置例
クオーバ＆ハイメガソニックを使用した半導体ウエハ洗浄装置
半導体ウエハの石英槽を用いた間接洗浄にクオーバやハイメガソニックが用いられています。特にハイメガソニックは高洗浄力や機能が評価され、1986年の出荷以来、世界中で使用され御好評をいただいております。 またクオーバは先進のダメージ低減機能を搭載しています。
- 企業：株式会社カイジョー ODM事業部
- 価格：応相談
