クオーバ＆ハイメガソニックを使用した半導体ウエハ洗浄装置
半導体ウエハの石英槽を用いた間接洗浄にクオーバやハイメガソニックが用いられています。特にハイメガソニックは高洗浄力や機能が評価され、1986年の出荷以来、世界中で使用され御好評をいただいております。 またクオーバは先進のダメージ低減機能を搭載しています。
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基本情報
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用途／実績例
バッジ式半導体ウエハの洗浄など
企業情報
カイジョーは、1948年の創業以来培ってきた超音波技術を基盤に、最先端のエレクトロニクス／メカトロニクス技術をタイムリーに採り入れることにより、顧客ニーズにフィットした超音波のトータルソリューションをグローバルに提供しています。
