枚葉式半導体ウエハの洗浄装置例

株式会社カイジョー

メガチューブ＆スポット型シャワーを使用した両面洗浄、表面洗浄とエッジの同時洗浄装置

メガチューブとスポットシャワーを半導体ウエハの枚用装置に搭載しました。 チャンパー内の狭いスペースにも振動子２台の設置が可能で、表面と裏面・エッジを同時に高清浄度に洗浄することが可能です。 ※以下で動画を確認いただけます。

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枚葉式半導体ウエハの洗浄装置例

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【洗浄効果】パーテクルを99％以上除去可能（社内値）

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　カイジョーは、1948年の創業以来培ってきた超音波技術を基盤に、最先端のエレクトロニクス／メカトロニクス技術をタイムリーに採り入れることにより、顧客ニーズにフィットした超音波のトータルソリューションをグローバルに提供しています。

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