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多点マッピング測定により膜厚分布を可視化
蛍光X線分析（XRF）では、元素分布や膜厚の簡便な評価が可能です。 本事例では、金属薄膜の評価事例として、4inchのSiウエハ上のAuの膜厚分布について多点マッピング測定をした事例をご紹介します。 多点マッピングを行うことで、各点のXRFスペクトルよりFP(Fundamental Parameter)法を用いてAu膜厚を算出し、測定座標より膜厚分布の評価をすることが可能です。
薄膜や微量元素の分析に最適！貴金属組成分析やメッキ厚さ測定が非破壊で可能
「FISCHERSCPOE(R) X-RAY XAN(R)250/XAN(R)252」は、エネルギー分散型蛍光X線分析器です。 貴金属の組成分析やメッキ厚さの測定が非破壊で行えます。 特に薄膜や微量元素の分析に適しています。 XAN250とXAN252は測定ステージとハウジング・サイズが違います。 「XAN250」は固定ステージタイプ、「XAN252」は手動XYステージタイプ・大型安全フード付きです。 主な測定対象としては、数nmの薄膜測定（電子機器、半導体関連）、規制物質の分析（おもちゃの中のPbなど）、高精度を要求する分析（ジュエリー、時計、貴金属）、大学や研究機関などです。 【特長】 ○測定仕様ごとに最適な照射エリアとフィルタを自動で設定 ○最新のシリコンドリフトディテクターが高い精度と検出能力を発揮 ○優れた精度と長期安定性 →再校正にかかる時間と労力を節約できる ○フィッシャーのFP法は固体や液体に関わらず、 皮膜の厚さまで理論計算で分析が可能 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
溶接材料の選定ミスや溶接後の不良にお悩みの方必見！溶接試験事例集プレゼント
当社では蛍光X線分析法による『PMI検査』を行っています。 検査材を送付していただく「社内検査」か、もしくは 当社から技術者を派遣する「オンサイト検査」を選択可能です。 溶接で使用する線材、鋼材、溶接金属などの事前チェックや 使われた溶接材が適切であったかなどを非破壊で調査できるため、 金属加工や機械製作、配管など様々な業種での異材混入防止や不良、腐食対策に最適です。 ★豊富な調査例を掲載した『溶接試験事例集』プレゼント中！ 【適用対象】 ■炭素鋼、低合金鋼、ステンレス鋼などの鉄鋼材料 ■インコロイ、ハステロイ、インコネルなどのNi基合金 ■純銅、黄銅、青銅、洋白、モネルなどのCu合金 ■その他、Ti合金やCo基合金など ※詳しくはカタログをご覧下さい。お問い合わせもお気軽にどうぞ。
検出時間・検出感度に対応可能！元素数に優れたハンドヘルド蛍光X線分析計
蛍光X線分析装置『DELTA Professional DPO-2000』は、検出時間・検出感度に対応可能な元素数に優れたハンドヘルド蛍光X線分析計です。X-act Count（エグザクトカウント）テクノロジーを搭載。多くの環境下で対応可能な堅牢設計により、優れた耐久性を発揮します。 【特長】 ■X線管：4W、最大管電流：200μA、最適化されたビーム設定 ■優れた検出感度と高い測定スループットを両立 ■各種元素の高感度分析に適した大口径SDD ■軽元素の高感度分析に効果のある自動気圧（高度）補正機能内蔵 ■高速起動と高カウントレート測定により検査時間を短縮 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
誰でもカンタンに測定・分析ができる。液体窒素不要・高分解能・高速測定対応の新世代SDD検出器を搭載した蛍光X線分析装置
多種多様な分野でお客様のニーズにお応えするラインナップです。 蛍光X線分析装置は非破壊分析で試料をそのまま測定できます。その場で分析結果が得られます。分析ニーズに合わせた装置を選んで頂くことはもちろん各機種様々なカスタマイズも承ります。液体窒素不要・高分解能・高速測定対応の新世代SDD検出器を搭載しています。 【特 長】 ■使いやすい分析ソフトウェアを完備。誰でも簡単に測定・分析ができる ■FP定量ソフトウェアを標準搭載。標準試料がなくてもすぐに測定できる ■省スペース・省エネルギー設計の卓上型装置できる。
基本性能を備えた卓上型・エネルギ分散型蛍光X線分析装置です。
＜特徴＞ ・非破壊元素分析 Na(11)～U(92) ・6種類のカスタマイズ可能なフィルター ・コンパクト形状 ・サンプルカメラ搭載 ・サンプルトレイ（8/16ポジション） ・シリコンドリフト検出器（SDD）
コンパクトで高機能な卓上型エネルギー分散型蛍光X線分析装置です。
＜特徴＞ ・非破壊元素分析 Na(11)～U(92) ・6種類のカスタマイズ可能なチューブフィルター ・サンプルトレイ（8/16ポジション） ・シリコンドリフト（～125eV） ・ユニークなフロント ・コンパクト形状 ・サンプルカメラ搭載
高機能なラボラトリーシステム
＜特徴＞ ・非破壊元素分析 Na(11)～U(92) ・シリコンドリフト検出器（～125ev） ・ピーク／バックグラウンド比の向上 （二次的ターゲットの励起使用の場合） ・8種類のフィルター、二次的ターゲット
大気質用 高感度分析装置
Apolloは米国EPAの大気質規制要件に準拠をサポートしながら、無機質大気汚染物質種の試験を行うことができ、60元素までの空気中の微粒子の堆積物を定量化することが可能です。 フィルターを破壊する事なく分析し、前処理など余分な処理を必要としないため、将来参照する為にエアフィルターをサンプル保存することも可能です。 ＜特徴＞ ・エアフィルターに付着した粒子状物質の高感度 ・米国EPA大気質規制要件への準拠をサポート ・非破壊元素分析 ・8種類のフィルター、二次的ターゲット
タッチスクリーン搭載！Mini HDMIやSSD、USBなどに接続が可能
『P-Metrix』は、コスト効率が高いポータブル蛍光X線分析装置です。 フィルターによる直接方式でチューブフィルターは7種類より選択可能。 広い試験室で、サンプルカメラを搭載しています。 セルフメンテナンスや持ち運びが可能な安全性に優れております。 【特長】 ■非破壊元素分析(元素分析 Na[11]-U[92]、ppm-100%） ■シリコンドリフト検出器(～125eV/優れたエネルギー分解能力) ■簡単に部品交換が可能 ■50kV、10W、Rh電極付属の高いパフォーマンス ■自動校正機能、7種類のチューブフィルター ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
痕跡の正確な計測が可能！8/16に配置したサンプルトレイを搭載
『X-Calibur』は、高性能でコンパクト形状の蛍光X線分析装置です。 多種多様なサンプルも対応可能な高解析検出器、パワフルなX線チューブを 使用。高度な光学設計を組み込み感度を向上させます。 オプションで軽元素分析に優れた超薄型の検出器窓の設置が可能です。 【特長】 ■高性能、コンパクト形状 ■非破壊元素分析(元素分析 Na[11]-U[92]、ppm-100%) ■シリコンドリフト検出器(～125eV/優れたエネルギー分解能力) ■6種類の特注フィルター(速く、且つマイナー元素、痕跡の正確な計測が可能) ■サンプルカメラ、サンプルトレイ搭載(8/16に配置) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
高速で正確な解析能力、低検出！60元素まで微粒子の定量化が可能
『Apollo』は、シグナル対ノイズ比を高めることで優れた高感度を 得れる蛍光X線分析装置です。 多様な電圧や電流を備えた二次ターゲットは単色励起を提供。 フィルターを破壊することなく、分析が可能です。 無機質大気汚染物質試験により米国EPAの大気質規制要件を サポートしました。 【特長】 ■エアフィルターに付着した粒子物質の高感度分析 ■非破壊元素分析(元素分析 Na[11]-U[92]、ppm-100%) ■米国EPAの大気質規制要件をサポート ■8つのチューブフィルター ■二次ターゲット ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
比重計では分析が解りにくい地金も素早く分析できます
当社では、地金の純度、プラチナを分析する小型で低価格の蛍光X線分析装置 『EDX800』を取り扱っています。 操作方法は簡単。 チャンバー内に、測定したい対象物を置いてPCで測定開始操作をすれば 60秒以内で地金の判定が可能です。 【仕様】 ■型式：EDX800 ■本体寸法：L416ｍｍ×W370ｍｍ×H360mm ■重量：約40Kg ■分析時間：約1分 ■測定元素：Au、Ag、Pt、Pd、Cu ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
シンプルオペレーションを支える高性能な蛍光X線分析装置！
当社では、新開発・自社製SDD（シリコンドリフト検出器）と新設計の光学系、 全エネルギー範囲対応フィルターにより高感度分析が可能な エネルギー分散型蛍光X線分析装置『JSX-1000S』を取り扱っております。 標準試料を使わずに高精度な定性・定量分析が可能。 また、オプションの試料室排気ユニットを装着することにより 軽元素の検出感度が向上します。 【特長】 ■感度が高い新開発SDD検出器（窒素レス） ■分解力が高く、軽元素を明確に分離 ■新開発高感度光学系。ショートパス光学系や独自のX線フィルターによる バックグランド低減で検出感度が大幅に向上 ■RoHSはもちろんそれ以外の元素も、高感度フィルターFP法にて 標準試料なしで高精度な定性・定量分析を実現 ※詳しくは、お気軽にお問い合わせください。
製品や部材等の品質に関する様々な分析・試験を受託！是非ご用命下さい
一般財団法人東海技術センターは『材料・品質分析』を承っております。 製品試験、製品開発あるいは異物分析・クレーム対応等で 成分を分析したい、原因を究明したい、といったご要望がありましたら 是非ご用命下さい。 なお、分析内容は対象物や測定条件などで異なります。 【主な品質分析用装置(一部)】 ■蛍光X線装置(波長分散、エネルギー分散) ■X線回析装置 ■イオンクロマトグラフ分析装置 ■顕微赤外分光装置 ■ICP発光分光装置(シーケンシャル型) など ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
