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12インチ対応セミオートプローバ×株式会社ウイング - 企業1社の製品一覧

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半導体検査装置 12インチ対応 セミオートプローバ

12インチ対応 セミオートプローバ SA-W300S

ベースにグラナイトを採用! 高精度位置決めが可能なセミオートプローバ 【特徴】 ○ベースにグラナイト製石定盤を採用し、駆動モーターに  リニヤシャフトモーターを搭載する事により  バックラッシュ『0』の実現が可能 ○リニヤスケールの精度/分解能に見合った高精度位置決めが可能 ○マニュアルローダを搭載し、ウェハの着脱が容易 ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。

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