光学式3D表面粗さ輪郭形状測機 【最新事例集進呈】
半導体・エレクトロニクス関連での採用多数!光学式 3D 表面粗さ・輪郭形状測機『MarSurf CP/CL・CM mobile』
\エレクトロニクス・半導体 2023春 最新版 測定事例進呈中!/ 『MarSurf CP/CL』は、往復移動時の双方向スキャンによって測定スピードを高めた非接触タイプの三次元表面形状測定機です。 『CP』は 6nm(Z方向)・1μm(X方向)の高分解能。ワーキングディスタンス 70mmで、表面に高低差のあるワークにも対応します。 『CL』は高速ラインセンサを搭載。0.02μm(Z方向)・1μm(X方向)の高分解能で100×100mmサイズを約1分という短時間で測定できます。 【特長】 ■表面粗さ・輪郭・真直度・断面積・平坦度・体積などの測定に対応 ■グラナイト製のベースを採用し、大型で重いワークにも対応 ■全自動測定でスキルに依存しない高速測定が可能(CP) ■微小な傷の検出や極小部位の測定に好適(CL) 『MarSurf CM mmobile』は、動かせない/大型ワークの粗さ・形状測定に好適なポータブル型で持ち運びが容易かつ、高精度な測定機です。 ■2nmの高分解能 ■ナノ単位3Dデータを最短7秒で取得 ■振動環境下/鏡面仕上げにも対応
- 企業:マール・ジャパン株式会社
- 価格:応相談