3次元構造作製技術 - メーカー・企業と業務用製品 | イプロスものづくり

エッチングの高度化と3次元構造の作製技術

ウェット/ドライエッチング、ポストエッチング技術の最新動向

前書「ウェットエッチングのメカニズムと処理パラメータの最適化」のと同じく、最新技術だけでなく基礎・実務から解説された一冊です。ウェットエッチング、ドライエッチング、ポストエッチング、3次元微細構造作成技術を学びたい方におすすめいたします。