ウェット/ドライエッチング、ポストエッチング技術の最新動向
前書「ウェットエッチングのメカニズムと処理パラメータの最適化」のと同じく、最新技術だけでなく基礎・実務から解説された一冊です。ウェットエッチング、ドライエッチング、ポストエッチング、3次元微細構造作成技術を学びたい方におすすめいたします。
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基本情報
発刊日:2025年03月31日 体裁:A4判 並製本 209頁 ISBN:978-4-911146-09-5 Cコード:3058
価格情報
60,000円＋税
価格帯
1万円 ~ 10万円
納期
2・3日
用途／実績例
企業、大学、研究機関の研究者・技術者用
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S&T出版は、研究者・技術者に向けた技術専門書籍を出版しています。
