微小振動を逃さない！高感度3軸加速度センサー│防水・TEDS対応
半導体・精密機器の微小な床振動を確実に捉える高感度設計。TEDS対応で感度設定を自動化し、多点計測の作業効率を劇的に改善。
【床振動・環境計測に最適な高感度設計】 100mV/m/s²の高出力により、一般的なセンサーでは捉えにくい微小な床振動も高いS/N比で明瞭に検出。 サイトサーベイ（設置環境調査）や除振台の性能評価など、高精度な振動管理が求められる用途に適しています。 【現場の効率と信頼性を高める機能】 ・設定ミスを防止（TEDS対応） センサー内に感度情報を保持し、対応機器に接続するだけで自動認識。多点計測時の設定ミスを防ぎ、立ち上げ時間を短縮します。 ・アンプ内蔵でノイズに強い（CCLD方式） 外部アンプ不要。同軸ケーブル1本で接続でき、長距離配線でも安定した測定が可能です。 ・軽量・高剛性チタンボディ 質量13.5gの軽量設計で対象物への影響を最小化。耐食性・耐久性にも優れています。 電子顕微鏡や露光装置の設置診断、精密加工機の振動評価、建物の微振動測定など、幅広い高精度計測に対応します。
- 企業：株式会社小野測器
- 価格：10万円 ~ 50万円
