6インチ対応ナノインプリンター『NM-0403』
6インチウエハーの一括転写が可能！ナノメートル構造を転写できるサーボプレス機
明昌機工の『NM-0403』は、ナノメートル構造を精度良く転写でき、 6インチウエハーの一括転写が可能なサーボプレス機です。 熱インプリント、室温インプリント、光インプリントの3種類の ナノインプリント機能を備えています。 オプションで、ウエハーの位置合わせを自動化するアライナー機能 を搭載できます。 【特長】 ■フレキシブル条件設定 ■アライナー機能 ■3種類のナノインプリント機能 ・熱インプリント ・室温インプリント ・光インプリント ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：明昌機工株式会社
- 価格：応相談
