6インチウエハーの一括転写が可能！ナノメートル構造を転写できるサーボプレス機
明昌機工の『NM-0403』は、ナノメートル構造を精度良く転写でき、 6インチウエハーの一括転写が可能なサーボプレス機です。 熱インプリント、室温インプリント、光インプリントの3種類の ナノインプリント機能を備えています。 オプションで、ウエハーの位置合わせを自動化するアライナー機能 を搭載できます。 【特長】 ■フレキシブル条件設定 ■アライナー機能 ■3種類のナノインプリント機能 ・熱インプリント ・室温インプリント ・光インプリント ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【仕様】 ■適応基板形状 ・レジスト基板：外径150mm ・モールド：外径150mm、積層厚6mmまで ■外径寸法（mm）： ・本体装置：990W×1370D×1810H ・冷却水循環装置：354W×384D×851H ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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企業情報
当社は、メカトロニクスの最新技術を駆使し、品質の継続的改善に努めることにより、顧客の要求・信頼に応える。又、地球環境と地域社会に調和し、持続可能な事業活動を推進するため、継続的な環境保全活動に取り組む。