EESパッケージ
半導体製造装置が正常に機能しているかを装置データでチェック！装置の信頼性や生産性を向上させるシステムパッケージ
『EESパッケージ』は、低価格でEES（装置エンジニアリングシステム）を 構築し、装置の生産性向上を実現するためのパッケージです。 ユーザーによる通信プログラム作成は不要。必要なパラメータ設定のみでOK。 既設システムにも接続が容易です。 また、メタデータ定義 (パラメータリスト/イベント収集/トレース収集)パラメータ値の 変化をトリガとしたイベントを定義可能です。 【特長】 ■ユーザーによる通信プログラム作成は不要 ■既設システムにも、導入・接続が容易 ■パラメータ値の変化をトリガとしたイベントを定義可能 ■過去半年のデータの保存が可能 ■装置1台に対して、1パッケージ ■動作環境：Windows2000/XP/7 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：株式会社ラポールシステム
- 価格：応相談
