半導体製造装置が正常に機能しているかを装置データでチェック！装置の信頼性や生産性を向上させるシステムパッケージ
『EESパッケージ』は、低価格でEES（装置エンジニアリングシステム）を 構築し、装置の生産性向上を実現するためのパッケージです。 ユーザーによる通信プログラム作成は不要。必要なパラメータ設定のみでOK。 既設システムにも接続が容易です。 また、メタデータ定義 (パラメータリスト/イベント収集/トレース収集)パラメータ値の 変化をトリガとしたイベントを定義可能です。 【特長】 ■ユーザーによる通信プログラム作成は不要 ■既設システムにも、導入・接続が容易 ■パラメータ値の変化をトリガとしたイベントを定義可能 ■過去半年のデータの保存が可能 ■装置1台に対して、1パッケージ ■動作環境：Windows2000/XP/7 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【機能】 ■指定されたSVID及びAIO・DIOのリアルタイム表示 ■S1F3でのサンプリング収集(標準)だけでなく、A/Dコンバータ接続による デバイス直接収集が可能(オプション) ■リミットを越えた場合の挙動の選択(オプション) ■FTP経由にて、CSVデータを送信が可能(オプション) 【導入メリット】 ■エンジニアリング効率の向上 ■スクラップ低減 ■歩留向上 ■装置稼働率向上 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格情報
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納期
用途／実績例
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企業情報
弊社は、微々たる力ではありますが、現在のエレクトロニクス・メカトロニクスにとどまらず、 広範な業務の展開を目指すと共に、あくまでも人間が主人公として運営していくシステム創りに 徹した製品を世に送り出してゆくことにより、次代の発展に寄与したいと願っております。
