N2パージ改造 - 企業1社の製品一覧

FOURPロードポートN2パージ改造

現在のFOUPロードポートを8時間でN2パージ機能に改造できるキットを開発。3000台の納入実績があります。

3種類のパージ 1. ロード時のパージ 2.　 開放時のパージ 3.　 アンロード時のパージ

• 企業：株式会社トリコ 東京支店
• 価格：応相談

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• その他半導体製造装置
• 半導体検査/試験装置