現在のFOUPロードポートを8時間でN2パージ機能に改造できるキットを開発。3000台の納入実績があります。
3種類のパージ 1. ロード時のパージ 2. 開放時のパージ 3. アンロード時のパージ
この製品へのお問い合わせ
基本情報
POINT： 1．Power: AC110V, 15A （Port一つ毎につき、電源ソケットが一つ必要です。機台の必要容量は15A。） 2. Gas: XCDA tube: 3/8”, 6Kg/cm2 （実際には5Kg/cm2まで使用可能です。200L/min; Port 一つ毎につき、管を一つ引きます。） 3. Exhaust: GEX, 3/8” （Port一つ毎につき、3/8管を引きます。） 4. Communication: Ethernet （主要機台一台に1本のネットワーク回線を引くだけで、IPが使えるようになります。） 5. 穴が必要 （L/P一つ毎につき、回路及びパイプライン前部に穴を開ける必要があります。大小サイズに関係なく、 現場できちんと位置を確認してください。）
価格帯
納期
用途／実績例
3000台以上の納入実績あり。
企業情報
弊社は、昭和４８年（１９７３年）にファウンダー鳥塚祐三の創業以来、お客様に満足いただける商品やサービス提供においてより良いものを、より早く、より安くをモットーに営業活動を続けて参りました。 地球環境に配慮し、お客様ならびに地域社会に貢献できる企業を目指し、あらゆるニーズに対して感度の高い企業になる事を目標に従業員一丸となって努力してまいります。これまでの弊社に対するご愛顧に衷心より感謝すると共に今後一層のご指導ご鞭撻をお願いする次第でございます。