RFスペクトラルメータ - メーカー・企業と製品の一覧

RF　スペクトラルメータ

RFインラインを乱すことなく、チャンバー内の様々な異常を検知し、歩留り向上に貢献いたします。

アンテナをプラズマ処理装置ウィンドに取り付けるだけで装置内の異常が検知可能です。

• 企業：株式会社マツボー
• 価格：応相談

• その他計測・記録・測定器