RFインラインを乱すことなく、チャンバー内の様々な異常を検知し、歩留り向上に貢献いたします。
アンテナをプラズマ処理装置ウィンドに取り付けるだけで装置内の異常が検知可能です。
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基本情報
・装置内のガスクリーニングの終わりを検知できます。 ・ウェハのハンドリングミスやガスリーク、圧力変化、電力変化も検知できます。
価格帯
納期
用途／実績例
半導体ファンドリー様 半導体製造装置メーカ様 半導体製造装置ユーザー様 RF電源メーカ様 マッチングボックスメーカ様 大学、研究機関様
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企業情報
マツボーは【産機・情報】【粉体】の2つの事業分野と【テクニカルセンター】のバックアップ体制でサービスを提供しています。機械の専門商社の枠にとらわれず、導入に先立ってのコンサルティングから、設置・ローカライズにかかわるエンジニアリング、導入後のメンテナンスや改善・改造提案まで、お客様に安心してお使いいただくための一貫したサービス体制を整えています。