RF プラズマ実験装置 RFPC-550
RF プラズマ実験装置 RFPC-550
アリオス社が取り扱う、RF13.56MHz励起プラズマ源を用いた プラズマ実験装置のご案内です プラズマ源を自社設計する、アリオス社だからこそできる柔軟設計。 お客様の要求仕様に応じた設計、製造をいたします。 【特徴】 ○自動マッチングによる簡単操作 ○コンパクトチャンバー＋シンプルな構成により、メンテナンスが容易 ○PFに対する、高電圧感電防止のためのインターロックを装備 ○高周波漏洩対策、停電等に対しても安全に停止するような機構を装備 ○オプションでロードロック機構を追加可能 ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
- 企業：アリオス株式会社
- 価格：応相談
