SPD薄膜形成装置 - 企業1社の製品一覧

SPD薄膜形成装置　KM-300

取り外し・自動運転が可能な強力排気と粉末分離システム！

SPD薄膜形成装置KM-300は、300mm角基板に対応しており、短時間で均一な成膜をするために、 特別なスキャニングパターンを持つ三つのスプレーノズルを使用しています。 下方向への強力排気と粉末分離システムで、取り外して洗浄、または自動運転が可能です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをダウンロードして下さい。

• 企業：株式会社SPD研究所
• 価格：応相談

• 分離装置