取り外し・自動運転が可能な強力排気と粉末分離システム！
SPD薄膜形成装置KM-300は、300mm角基板に対応しており、短時間で均一な成膜をするために、 特別なスキャニングパターンを持つ三つのスプレーノズルを使用しています。 下方向への強力排気と粉末分離システムで、取り外して洗浄、または自動運転が可能です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをダウンロードして下さい。
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基本情報
【主な特徴】 ○300mm角基板に対応しており、短時間で均一な成膜をするために、特別なスキャニングパターンを持つ三つのスプレーノズルを使用。 ○最大400mm×400mmの範囲に、複数ノズルでＸ、Ｙ軸方向に移動噴霧が可能。 ○下方向への強力排気と粉末分離システム。 ○反応室の内壁はセラミック成膜されており、取り外して洗浄可能。 ○爆発性ガス捕集システム。 ○内蔵タッチパネルで自動運転が可能。 ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをダウンロードして下さい。
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企業情報
大学在職中に手掛けた化学的薄膜形成技術の実用化を目指して当研究所を設立しました。関連装置の製作と合わせて、この技術によって作製した各種薄膜を部材とするエネルギー供給と環境保全に役立つ新規色素増感太陽電池システムの開発を目指しています。製品はいずれも世界最高水準を達成させる所存です。